Турбомолекулярные насосы KYKY
ERSTEVAK - официальные дилер турбомолекулярных насосов KYKY
Являемся официальным дилером продукции KYKY Technology Co., ltd на территории России. Это позволяет нам предлагать продукцию компании с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания.
Компания KYKY Technology Co., LTD. была организована 28 декабря 2000 г. в технологическом центре Haidian Park и специализируется в разработке, проектировании и производстве оборудования для научных исследований, высокотехнологичных производств, связанных с микроэлектроникой, полупроводниками и авиацией.
Первоначально компания под патронажем Пекинского исследовательского центра академии наук Китая. Благодаря сотрудничеству с академией наук Китая компания заняла лидирующее место на китайском рынке, а также заметное положение в странах Азии и Европы в областях вакуумной техники, ионно-плазменных технологий и других современных наукоемких областях.
Отличительные особенности:
- Получение безмасляного вакуума.
- Контроль качества при изготовлении.
- Удобная замена уплотнений, подшипников и консистентной смазки.
- Динамическая балансировка Dual-Plane.
- 48-ми часовой тестовый контроль качества.
- Простота и удобство эксплуатации и обслуживании.
- Насос поставляется с контроллером и полностью готов к работе.
Турбомолекулярные насосы с механическим подвесом KYKY серии FF
Безмасляные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками с консистентной смазкой и гибридной ступенью отлично подходят для областей, где необходима непрерывная откачка больших потоков газа и длительная работа. Благодаря керамическим подшипникам, монтаж насоса может осуществляться в любом положении. Ротор насоса изготавливается из цельной заготовки, что снижает вибрации и увеличивает прочность.
Насосы KYKY серии FF доступны как с воздушным, так и с водяных охлаждением, в зависимости от задач для, для которых приобретается оборудование. Насосы обладают высокой надежностью, которая не уступает более дорогим аналогом, а также более привлекательной ценой. Подобные купечества позволяют рассматривать данные насосы в качестве доступной замены для устаревшего оборудования, а также для комплектации новых систем.
Технические характеристики серии FF
Таблица 1. Турбомолекулярные насосы с механическим подвесом KYKY серии FF - технические характеристики.
| FF-40/25E | FF-63/80E | FF-100/150E | FF-100/300E | FF-160/700E | FF-200/1300E | FF-250/2000E | |||||||
| Быстрота действия, л/с | N2 | 25 | 62 | 150 | 600 | 700 | 1300 | 2000 | |||||
| He | - | 55 | - | - | - | - | - | ||||||
| Степень сжатия | N2 | > 1x107 | > 1x106 | > 1x107 | > 6x108 | > 1x109 | >1x109 | >1x109 | |||||
| He | > 6x103 | > 4x103 | > 6x103 | > 5x105 | H2: 6×103 | H2: 6×103 | H2: 6×103 | ||||||
| Предельное остаточное давление, Па | DN ISO | < 1x10-6 | < 4x10-6 | < 6x10-6 | < 6x10-6 | ≤ 6×10-7 | < 6×10-6 | ≤ 10-6 | |||||
| DN CF | < 1x10-7 | < 5x10-7 | < 6x10-7 | < 6x10-7 | ≤ 6×10-8 | < 6x10-7 | ≤ 10-7 | ||||||
| Выхлопной патрубок | KF16 | KF16 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | ||||||
| Входной патрубок | DN40ISO | DN63ISO | DN100ISO | DN100ISO | DN160ISO | DN200ISO | DN250ISO | ||||||
| DN40CF | DN63CF | DN100CF | DN100CF | DN160CF | DN200CF | DN250CF | |||||||
| Тип подвеса | Механический, консистентная смазка | ||||||||||||
| Номинальная скорость вращения ротора, об/мин | 36 000 | 72 000 | 51 000 | 60 000 | 36 000 | 24 000 | 24 000 | ||||||
| Время старта, мин | < 2 | < 2 | < 2 | < 5 | < 4 | < 6 | < 6 | ||||||
| Вибрация, µм | <0.05 | < 0.05 | < 0.05 | < 0.05 | ≤ 0.1 | < 0.1 | < 0.1 | ||||||
| Уровень шума, дБ(А) | < 55 | < 55 | < 55 | < 55 | < 55 | < 55 | < 55 | ||||||
| Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/с | 0.8-2 | 0.8-2 | 2 | 2-4 | 4 - 8 | 15 - 18 | 15-25 | ||||||
| Рекомендуемое давление запуска, Па | < 500 | < 500 | < 500 | < 500 | < 500 | < 500 | < 500 | ||||||
| Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе, Па | 10 | 500 | 220 | 500 | 500 | 500 | 500 | ||||||
| Положение при установке | Произвольное | ||||||||||||
| Температура прогрева, C | ISO | < 80 | < 100 | < 100 | < 100 | < 100 | < 100 | < 100 | |||||
| CF | < 80 | < 120 | < 120 | < 120 | < 120 | < 120 | < 120 | ||||||
| Охлаждение | Водяное или воздушное | ||||||||||||
| Вес, кг | ISO | 3 | 2,6 | 6,0 | 8 | 19 | 32 | 32 | |||||
Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом KYKY серии CFX
Безмасляные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе позволяют добиться минимального шума и вибраций турбомолекулярного насоса. Магнитные подшипники полностью исключают механический износ и необходимость в обслуживании.
Насосы KYKY серии CFX отлично подходят для процессов, где недопустимо использование смазки. Магнитный подвес позволяет устанавливать турбомолекулярные насосы в произвольном положении. Высокая производительность позволяет применять насосы для откачки вакуумных камер больших объемов. Насосы обладают высокой надежностью, которая не уступает более дорогим аналогом, а также более привлекательной ценой. Подобные качества позволяют рассматривать данные насосы в качестве доступной замены для устаревшего оборудования, а также для комплектации новых систем.
Технические характеристики серии CFX
Таблица 2. Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом KYKY серии CFX - технические характеристики.
| CXF-200/1400E | CXF-250/2300E | CXF-320/3000E | ||
| Быстрота действия, л/с | 1400 | 2300 | 3000 | |
| Степень сжатия N2 | > 1x107 | > 1x107 | > 1x107 | |
| Предельное остаточное давление, Па | < 1x10-6 | < 1x10-6 | < 1x10-6 | |
| Выхлопной патрубок | KF40 | KF40 | KF40 | |
| Входной патрубок | ISO200/CF200 | ISO200/CF200 | ISO320/CF320 | |
| Номинальная скорость вращения ротора, об/мин | 30 000 | 27 000 | 27 000 | |
| Время старта, мин | 11 | 11 | 12 | |
| Вибрация, µм | < 0.05 | < 0.05 | < 0.05 | |
| Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/с | 15 | 15 | 15 | |
| Положение при установке | Произвольное | |||
| Охлаждение | Водяное. Температура воды 20 С, давление 0,15 Мпа, расход > 1 л/мин, самоуплотняющийся штуцер Ø10 мм | |||
| Вес, кг | 48 | 60 | 70 | |