Вакуумметры

На этой странице вы можете выбрать вакуумметры — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.

Получить цены на каталог оборудования
Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер
Поможем разобраться
  • Как выбрать вакуумметр (вакуумный датчик)?
Наши проекты
  • Больше о наших проектах в блоге

ЭРСТВАК предлагает вакуумметры для контроля давления в диапазоне от атмосферы до сверхвысокого вакуума. Для вашего удобства мы сгруппировали серии по типу применения и технологическим требованиям.

MTP4D (ERSTVAK); PSG, PCG, SKY (INFICON); VD8, VSP841/2 (Thyracont) – цифровые вакуумметры на базе Пирани, пьезо и емкостных датчиков. Имеют LCD-дисплеи, цифровые интерфейсы RS485/USB, аналоговые выходы и релейные переключатели для интеграции в системы управления.

MTM9D, MTH10D (ERSTVAK); MPG (INFICON); VSR (Thyracont) – комбинированные вакуумметры, покрывающие весь диапазон от атмосферы до высокого/сверхвысокого вакуума. Сочетают датчики Пирани с магнетроном или горячим катодом для непрерывного контроля на всех этапах откачки. Подходят для напылительных систем, вакуумных печей, процессов с переменным давлением.

PEG, BAG (INFICON) – пеннинговские датчики холодного катода для высокого и сверхвысокого вакуума. Применяются в напылительных системах, масс-спектрометрии, электронной микроскопии, производстве полупроводников.

ВП, ВТ, ДВ (Физтех) – стрелочные вакуумметры радиального типа для измерения от -0,1 МПа до атмосферы. Серия ВП подходит для визуального контроля, ВТ — для точных измерений, ДВ с электроконтактами — для автоматического управления процессами.

VSP6, VCP6, VCR, VCL, VSL (Thyracont) – контроллеры и системы мониторинга для одновременного измерения давления в нескольких точках вакуумной установки. Обеспечивают централизованный контроль многокамерных систем откачки и технологических линий.

Фильтры

ЭРСТВАК предлагает вакуумметры для контроля давления в диапазоне от атмосферы до сверхвысокого вакуума. Для вашего удобства мы сгруппировали серии по типу применения и технологическим требованиям.

MTP4D (ERSTVAK); PSG, PCG, SKY (INFICON); VD8, VSP841/2 (Thyracont) – цифровые вакуумметры на базе Пирани, пьезо и емкостных датчиков. Имеют LCD-дисплеи, цифровые интерфейсы RS485/USB, аналоговые выходы и релейные переключатели для интеграции в системы управления.

MTM9D, MTH10D (ERSTVAK); MPG (INFICON); VSR (Thyracont) – комбинированные вакуумметры, покрывающие весь диапазон от атмосферы до высокого/сверхвысокого вакуума. Сочетают датчики Пирани с магнетроном или горячим катодом для непрерывного контроля на всех этапах откачки. Подходят для напылительных систем, вакуумных печей, процессов с переменным давлением.

PEG, BAG (INFICON) – пеннинговские датчики холодного катода для высокого и сверхвысокого вакуума. Применяются в напылительных системах, масс-спектрометрии, электронной микроскопии, производстве полупроводников.

ВП, ВТ, ДВ (Физтех) – стрелочные вакуумметры радиального типа для измерения от -0,1 МПа до атмосферы. Серия ВП подходит для визуального контроля, ВТ — для точных измерений, ДВ с электроконтактами — для автоматического управления процессами.

VSP6, VCP6, VCR, VCL, VSL (Thyracont) – контроллеры и системы мониторинга для одновременного измерения давления в нескольких точках вакуумной установки. Обеспечивают централизованный контроль многокамерных систем откачки и технологических линий.

Хит Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16 Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 1 x10^(-4)
  • Максимальная температура прогрева, °С: 125
  • Принцип измерения: Датчик Пирани
В корзину
1
Хит Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25 Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
  • Время отклика, с: 0.2
  • Максимальная температура прогрева, °С: 60
  • Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
В корзину
1
Хит Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP841 Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP841
  • Принцип измерения: Пирани (в зависимости от типа газа)
В корзину
1
Хит Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP842 Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP842
  • Принцип измерения: Пирани (в зависимости от типа газа)
В корзину
1
Хит Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40 Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-10
  • Время отклика, с: 0.02
  • Максимальная температура прогрева, °С: 180
  • Принцип измерения: Датчик Пирани и датчик Байярда-Альперта (с горячим катодом)
В корзину
1
Хит Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40 Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
  • Время отклика, с: 0.2
  • Максимальная температура прогрева, °С: 60
  • Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
В корзину
1
Контроллер INFICON VGC502 Контроллер INFICON VGC502
  • Каналы измерения: Двухканальный
  • Разъем уставки: D-sub, 15-конт., папа
  • Разъем аналогового выхода: D-sub, 15-контактный, папа
  • Цифровой интерфейс: USB slave, ведущий/Ethernet, USB Тип A (стик), USB Тип B, FCC68/RJ45
В корзину
1
Контроллер INFICON VGC503 Контроллер INFICON VGC503
  • Каналы измерения: Трехканальный
  • Разъем уставки: D-sub, 15-конт., папа
  • Разъем аналогового выхода: D-sub, 15-контактный, папа
  • Цифровой интерфейс: USB slave, ведущий/Ethernet, USB Тип A (стик), USB Тип B, FCC68/RJ45
В корзину
1
Контроллер INFICON VGC501 Контроллер INFICON VGC501
  • Каналы измерения: Одноканальный
  • Разъем уставки: D-sub, 15-конт., папа
  • Разъем аналогового выхода: D-sub, 15-контактный, папа
  • Цифровой интерфейс: USB slave, ведущий/Ethernet, USB Тип A (стик), USB Тип B, FCC68/RJ45
В корзину
1
Вакуумный датчик Пирани с поверкой ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16 Вакуумный датчик Пирани с поверкой ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 1 x10^(-4)
  • Максимальная температура прогрева, °С: 125
  • Принцип измерения: Датчик Пирани
В корзину
1
Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем CF16 Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем CF16
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 1 x10^(-4)
  • Максимальная температура прогрева, °С: 125
  • Принцип измерения: Датчик Пирани
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S
  • Принцип измерения: По принципу теплопроводности Пирани
  • Время отклика, мс: 80
  • Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м: 100
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S
  • Принцип измерения: По принципу теплопроводности Пирани
  • Время отклика, мс: 80
  • Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м: 100
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG554 Вакуумметр Пирани INFICON PSG554
  • Максимальное давление (абс.), бар: 10
  • Диапазон (N2), мбар: 5x10^-5 — 1000
  • Цифровой интерфейс: RS232C
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG552 Вакуумметр Пирани INFICON PSG552
  • Максимальное давление (абс.), бар: 10
  • Диапазон (N2), мбар: 5x10^-5 — 1000
  • Цифровой интерфейс: RS232C
В корзину
1
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG050 Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG050
  • Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
  • Материал катода (нить накаливания): Двойной иридий (Ir), или двойной вольфрам (W)
  • Материал анода: Вольфрам (W), Ø0.005''
  • Изолятор: Керамика
В корзину
1
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 ISO-KF Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 ISO-KF
  • Цифровой интерфейс: RS485
  • Фланцевое соединение: DN16 ISO-KF
В корзину
1
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 25 ISO-KF Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 25 ISO-KF
  • Цифровой интерфейс: RS485
  • Фланцевое соединение: DN25 ISO-KF
В корзину
1
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG402 DSUB9 KF25 Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG402 DSUB9 KF25
  • Максимальное давление (абс.), бар: 2
  • Цифровой интерфейс: Порт для диагностики
  • Фланцевое соединение: KF25
В корзину
1
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052 Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052
  • Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
  • Материал катода (нить накаливания): Однослойное покрытие из иридия (Ir)
  • Материал анода: Вольфрам (W), Ø0.010''
  • Изолятор: Керамика
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25 Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
  • Время отклика, с: 0.2
  • Максимальная температура прогрева, °С: 60
  • Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40 Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
  • Точность измерений, %: 30
  • Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-10
  • Время отклика, с: 0.02
  • Максимальная температура прогрева, °С: 180
  • Принцип измерения: Датчик Пирани и датчик Байярда-Альперта (с горячим катодом)
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
  • Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м: 50
В корзину
1
desc

О вакуумметрах

 

Вакуумметр фронтальный вид

 

Для ряда процессов необходим контроль давления разреженной среды. Используются приборы, которые называются вакуумметры. Это разновидность манометров, предназначенная специально для работы с вакуумом. В нашем каталоге вы можете подобрать и купить вакуумметры по ценам производителей - ERSTVAK, Inficon.

 

Вакуумметры – средства для измерения вакуума

 

Вакуумметры – приборы для измерения вакуума в замкнутой области, а также контроля давления ниже атмосферного. Применяются вместе с вакуумными датчиками, отвечающими непосредственно за сбор данных.

 

Устройства используются в разных отраслях промышленности, а также могут быть задействованы для решения бытовых задач. Они совмещаются с вакуумными насосами, печами, нагнетателями, газоанализаторами.

 

Принцип работы вакуумметра

 

Схема принципа работы стрелочного вакуумметра

 

Поэтапная схема принципа действия стрелочного вакуумметра

 

Все вакуумметры включают чувствительные датчики, которые реагируют на изменение давления в замкнутой области и передают сигнал на индикаторный блок. Принцип действия оборудования зависит от его разновидности и используемых компонентов. Подробно методы считывания показаний для каждой категории вакуумных манометров разберем ниже.

 

Ни один вакуумметр не охватит полный диапазон возможных давлений, так что для ряда промышленных или производственных задач требуется одновременное использование сразу нескольких типов манометров.

 

В чем отличие вакуумметра от вакуумного датчика

 

Нередко пользователи путают понятия вакуумметра и вакуумного датчика. Это несложно, поскольку устройства тесно связаны друг с другом.

 

Датчик – чувствительный прибор, который преобразовывает значение измеренного давления в импульс и передает его на стрелочный циферблат или электронный экран. Вакуумметр – это манометр, позволяющий определить давление ниже атмосферного. Вакуумные датчики являются частью комплекта вакуумметра.

 

Типы вакуумметров

 

По способу считывания и отображения данных различают два вида вакуумметров.

 

Стрелочные вакуумметры

 

Стрелочный вакуумметр фронтальный вид

Устройства механического типа, используемые для контроля показателей разреженной газовой среды. Могут применяться в рамках промышленных производств, а также в научных лабораториях.

 

Стрелочные измерители имеют следующие преимущества:

 

  • стабильность;
  • точность;
  • простая установка;
  • долгая эксплуатация;
  • возможность применения в средах низкого, среднего или даже высокого и сверхвысокого вакуума.

 

В качестве основного чувствительного элемента тут используется пружина, которая может быть трубчатой или пластинчатой.

 

Трубчатые манометры имеют в составе пружины в виде овальных труб с радиальным сечением, которые при воздействии напряжения искривляются и передают показатели на шкалу. Пластинчатые (мембранные) модификации включают две зафиксированные на корпусе мембраны, имеющие непосредственный контакт с рабочей средой. От давления газа зависит интенсивность колебания пружины, которая затем отображается на шкале.

 

Вакуумметры цифровые

 

Цифровой вакуумметр вид сбоку

 

В цифровых вакуумметрах используются преобразовательные элементы, считывающие показатели разрежения, преобразующие их в импульсный сигнал и цифровой код. В состав любого измерителя входят следующие компоненты:

 

  • преобразователь давления;
  • измерительный блок.

 

Импульсы, образующиеся при воздействии газовой среды на чувствительные элементы, трансформируются в преобразователе. Они превращаются в обычный электрический сигнал, который затем поступает в измерительный блок и там расшифровывается. После оценки сигнала система переводит его в соответствующие единицы измерения и передает значение на экран прибора.

 

Важной технической особенностью вакуумметрических счетчиков представляется наличие автоматики, используемой для контроля работы электроконтактных датчиков и управления током в электрической цепи. Регуляторы в современных приборах помогают добиться минимальной погрешности при измерениях.

 

Все данные отображаются на удобном табло в виде цифр. Такой технологический подход существенно упрощает контроль за рабочими процессами и позволяет выставлять именно те значения давления, которые необходимы для их правильного протекания.

 

Виды вакуумметров

 

По принципу действия классификация манометров (вакуумметров) подразделяется на следующие разновидности:

 

  • механические;
  • тепловые;
  • пьезорезистивные.

 

Для лучшего понимания особенностей работы метрологического оборудования стоит осуществить дополнительное рассмотрение разновидностей подробно.

 

Механические вакуумметры

 

Типичным примером механического мановакуумметра оказывается конструкция с изогнутой металлической трубкой, которая помещена в источник вакуума. Падение давления приводит к сгибанию наконечника и перемещению соединительного волоска. Далее пружинка смещает иглу по грани циферблата, тем самым показывая значение разрежения в нужных единицах.

 

Применяется система с герметичной воздушной камерой, которая отделена от разреженной среды специальной диафрагмой. Падение давления разной степени вызывает расширение разделителя, а механизм преобразует эти движения в положение указателя на циферблате.

 

Тепловые вакуумметры

 

Тепловые манометры подойдут для точного измерения вакуума, поскольку они способны фиксировать даже незначительные изменения давления. Виброустойчивые датчики отслеживают способность газа рассеивать тепло и на основе этих данных выдают значения.

 

Падение давления приводит к снижению теплопроводности газа, даже если оно было очень малым. Именно это и фиксирует термоманометр. Зачастую такие элементы даже не требуется калибровать посредством образцовых измерителей. Поверка контроллером также требуется нечасто.

 

Пьезорезистивные вакуумметры

 

Высокоточные измерители, важным преимуществом которых является независимость от характеристик используемой газовой среды. При этом манометры способны выдавать очень точные показатели, отслеживая влияние давления на пьезоэлементы и изменение сопротивления.

 

Сила давления влияет непосредственно на сам пьезорезистивный датчик, что позволяет уменьшить погрешность и обеспечить диапазон измерения в пределе 1 мм рт. ст. Подобная точность позволяет использовать системы в качестве контрольных или эталонных для отладки других манометров.

 

Сферы применения вакуумметров

 

Так как вакуум используется во множестве отраслей, то и вакуумметры в рамках метрологии задействованы практически везде. С их помощью успешно контролируют показатели давления в системах пневмотранспорта, создают условия для проведения лабораторных исследований, а также поддерживают вакуум для протекания тех или иных производственных процессов.

 

Среди областей применения вакуумных манометров дополнительно можно выделить нефтяную отрасль, машиностроение, фармацевтику, добычу полезных ископаемых и многое другое.

 

Как выбрать вакуумметр

 

Перед покупкой вакуумметра необходимо разобраться с основными принципами подбора оборудования. Тут стоит рассматривать следующие факторы:

 

  • Материал изделия. Влияет на долговечность и способность работать в течение долгого времени. Чаще всего представлены биметаллические материалы, нержавеющая сталь, медные или алюминиевые сплавы, а также латунь. Если устройство находится в свободном доступе, лучше сразу обратить внимание на ударопрочные решения.
  • Чувствительность. Тут рассматривается то, как сильно различные электромагнитные поля воздействуют на измеритель и могут ли они привести к существенным погрешностям.
  • Температурный режим воздуха атмосферы или иной газовой среды. Все зависит от условий эксплуатации прибора, а также размещения. Для мест со значительными перепадами температуры стоит подбирать специализированные решения.
  • Наличие защиты. Речь идет о коррозионностойких моделях и исполнениях со взрывозащитой, без которых не обойтись в некоторых отраслях. Только такие элементы могут измерить разрежение аммиачных сред или других опасных веществ. Нередко требуется определенный уровень защиты от влаги или пыли.

 

Цена вакуумметра зависит от диапазона измерений, типа механизма и производителя. Лучше всего отдавать предпочтение продукции проверенных брендов:

 

  • Россия (ERSTVAK, Физтех, Манотомь, Мерадат, Росма);
  • Швейцария (Inficon);
  • Германия (Testo).

 

Если возникли трудности в выборе, наши консультанты быстро подберут надежные манометрические измерители под уровень решаемых задач.

 

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!