Приборы измерения и контроля вакуума

На этой странице вы можете выбрать приборы измерения и контроля вакуума — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.

Поможем разобраться

Больше полезных статей в нашем блоге

Наши проекты

Больше о наших проектах в блоге

Полезные материалы

Поможем разобраться

Больше полезных статей в нашем блоге

Наши проекты

Больше о наших проектах в блоге

Отдельные позиции для уже работающих систем

Вакуумметры

Контроллеры вакуума

ЭРСТВАК предлагает приборы измерения и контроля вакуума для точного мониторинга давления в вакуумных системах и технологических процессах.

На странице каталога представлены:

Вакуумметры и датчики давления. Приборы серий ERSTVAK, INFICON и Thyracont измеряют давление в широком диапазоне — от форвакуума до сверхвысокого вакуума — и передают данные для контроля процессов.
Датчики и преобразователи давления. Модели с цифровым и аналоговым выходом, включая USB-интерфейс, обеспечивают удобную интеграцию в системы автоматизации.
Комплектующие для измерительных систем. Разъёмы, кабели и модули расширяют функциональность вакуумметрических комплексов и упрощают их подключение к оборудованию.

Фильтры

Страна

Германия
Российская Федерация
Швейцария

Питание

Сила тока, А

От

До

Минимальная температура окружающей среды, °С

От

До

Степень защиты

IP20
IP30
IP40
IP40 (IP54)
IP40, IP54 с разъемом XB15SL05
IP54
IP65

Производитель

ERSTVAK
INFICON
Thyracont
Физтех

Категория

Вакуумметр

Ширина, мм

От

До

Единица измерения

мбар, Торр, па, ХПА, микрон

Катод

Вольфрам
Керамическое покрытие
Никель

Регулировки

Зависит от датчика

Максимальная длина кабеля, м

От

До

Максимальная температура прогрева, °С

Температура хранения

-20 — +60
-20 — +65
-20 — +70
-20 — +80
-40 — +65
-40 — +70
минус 40 плюс 65

Внутренний объем, см³

От

До

Время отклика, мс

От

До

Фланец

DN25 ISO-KF
DN40 CF-F
DN40 ISO-KF

Масса, кг

От

До

Время отклика, с

От

До

Диапазон измерений, мбар

1000 - 1 x10^(-4)
1000 - 5*10^-10
1000 - 5*10^-9
1000 – 5.0x10-9

Точность измерений, %

От

До

Максимальное давление (абс.), кПа

От

До

Макс. напряжение питания (пост. ток), В

От

До

Диаметр корпуса, мм

От

До

Резьба штуцера

М12х1,5
М20х1,5

Класс точности

От

До

Диапазон шкалы, кПа

-100...0

Разрешение

a:2:{s:4:"TEXT";s:82:"2-разрядный с показателем степени экспоненты";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}
a:2:{s:4:"TEXT";s:8:"1 бар";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}
a:2:{s:4:"TEXT";s:96:"< 1 мбар: 2-разрядный с показателем степени экспоненты";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}

Максимальная рабочая температура, °C

От

До

Дисплей

LCD 12 мм
Графический ЖК-дисплей, разрешение 400 x 240 пикселей
ЖК-дисплей со светодиодной подсветкой
Нет
по запросу OLED + Pad

Нить накаливания

Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2)

Потребляемая мощность

0.8 Вт для EtherCAT
2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)
30 мА
Макс. 0.6 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1.0 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1.5 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
доп 1.6 Вт для Profinet)

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар

От

До

Повторяемость

% от показаний ±5
1 x 10-2 мбар:± 5% от показания
10 — 1x10^-2 мбар: ±5% от показания
10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%
10^-8 — 10^-2 мбар от показаний ±5
20 — 0.002 мбар 2% от показаний
40 — 1x10^-2 мбар: ±2% от показания
5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)
±2% (10 — 1x10^-2 мбар), 5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)

Ток эмиссии

Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА

Нить накаливания Байярда-Альперта

Иридий, покрытый иттрием

Дегазация

p<5.00х10^-5 Торр (программируется в диапазоне 2 ... 10 мин)
p<7.2х10^-6 мбар (электронная бомбардировка, максимум 3 мин)
Нагрев анода электрическим током

Скорость измерений, с

Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C

От

До

Максимальное время работы, ч

a:2:{s:4:"TEXT";s:159:"<p style="text-align: right;">100 (Литиевая батарея 9 В)<br> 40 (Алкалиновая батарея 6LR61 9 В)</p>";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}

Интерфейс

Mini-USB, тип B, 5-контактный, протокол Virtual Com Port
RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet
USB 2.0
USB 2.0, опционально Bluetooth® LE
USB, протокол: 9.6...115 кБод, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без чётности

Коммутационные выходы

2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

ЖК-дисплей

Да
Нет

Габариты

99 x 69 x 48 мм (версия с DN 16 KF)

Масса, г

От

До

Скорость снятия показаний, с

1 — 6000
IP40, IP54 с разъемом XB15SL06
IP40, IP54 с разъемом XB15SL07
IP40, IP54 с разъемом XB15SL08
IP54

Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)

1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
1х10^-9 — 1000 мбар (7.6 × 10^-10 — 760 Торр)
5х10^(-9) — 1000 (3.8x10^(-9) — 760)

Повторяемость измерений

1х10^(-8) — 100 мбар % от показаний ≈±5%
2000 – 30 мбар: 0,1 % от полной шкалы 30 – 1×10⁻² мбар: 2 % от показания

Ориентация при монтаже

Любая

Допустимое давление (абс.), бар

10 (ограничение для инертных газов <55°C)
10, ограничение для инертных газов
≤10 (ограничивается инертным газом)
≤5

Рабочая температура (окр. среды), °C

+10 — +50
+5 — +50
+5 — +55
0 — +40
0 — +50

Макс. температура прогрева, °C

От

До

Температура катода (Пирани), °C

Блок питания с кабелем максимальной длины, В

+16 — +30 постоянного тока

Пульсация, V (p-p)

≤1

Энергопотребление, Вт

≤2
≤45
≤65
≤90

Необходимый предохранитель, AT

≤1

Диапазон измерений выходного сигнала, В

+1.82 — +8.6

Зависимость напряжение – давление, В на декаду

1
Логарифмическая функция, 0.6
Логарифмическая, 0.75 В/декада
Логарифмическое соотношение 1.286

Сигнал ошибки, В

<0.5 (нет подачи энергии), >9.5 (датчик Пирани, разрушение катода)
> +10

Выходное полное сопротивление, Ом

2x10
2х4.7

Полное сопротивление нагрузки, кОм

10, защита от короткого замыкания
>10

Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс

От

До

Время отклика p=10^-8 мбар, мс

От

До

Идентификация датчика, кОм

27.0, по отношению к общему выходу источника питания
85
100
27.0, по отношению к общему выходу источника питания
85, по отношению к общему источнику питания

Состояние только Пирани, В

0 (низкое)

Состояние Пирани/холодный катод, В

15 — 30 (высокое)

Светодиодный индикатор

Зеленый - подается высокое напряжение

Кабель датчика

8 контактов, экранирование
Экранированный 8-жильный

Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м

От

До

Рабочая сила тока, мкА

≤500

Масса c фланцем DN 25 ISO-KF, г

От

До

Масса c фланцем DN 40 CF-F, г

От

До

Масса c фланцем DN 40 ISO-KF, г

От

До

Точность (N2)

1 × 10^(-8) — 1 × 10^(-2) мбар % от показаний 30
100 — 1000 мбар % от показаний 50
100 — 1000 мбар % от показаний ±50
950 — 1050 мбар % от показаний ±2.5

Повторяемость (N2)

1x10^-3 — 1100 мбар % от показаний ±2
1х10^-2 — 100 мбар % от показаний 5
1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
1х10^-8 —1х10^-2 мбар % от показаний 5

Температура катода, °C

Относительная влажность 30 дней в году

1х10^-8 — 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)

Макс. напряжение питания пульсации (p-p), В

От

До

Макс. напряжение питания предохранителя, АТ

От

До

Выходное сопротивление, Ом

2х4.7

Импеданс нагрузки, кОм

≥10 (защита от короткого замыкания)

Кабель 50 м

≤50 (8x0.14 мм2)

Кабель 75 м

≤75 (8x0.25 мм2)

Кабель 100 м

≤100 (8x0.34 мм2)

Кабель 300 м

≤300 (8x1.00 мм2)

FCC соединительный кабель, м

≤50 (0.14 мм2/проводник)

Макс. напряжение поджига (в измерительной камере), кВ

От

До

Макс. рабочее напряжение (в измерительной камере), кВ

От

До

Максимальный ток (в измерительной камере), мкА

≤380

Минимальный ток (в измерительной камере), мКа

≤130

Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³

≈19.9

Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³

≈20.9

Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³

≈25.2

Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³

≈25.6

Максимальная масса DN 25 ISO-KF, г

От

До

Минимальная масса DN 40 ISO-KF, г

От

До

Максимальная масса DN 40 CF-F и CF-R, г

От

До

Скорость передачи (RS232C/485C), КБод

9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6

Адрес (RS232C/485C)

2 коммутатора (адрес 00-255)

Цифровые функции

Дегазация и контроль эмиссии
Дегазация, включение/выключение нити накаливания и контроль эмиссии
Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки

Разъем для RS232 и RS485

D-sub HD, 15-пин, папа

Материал катода

Вольфрам
Керамическое покрытие
Никель

Диапазон измерений, мбар (Торр)

5х10^-5 — 1000 (3.8х10^-5 — 750)
5х10^-5 — 1500 (3.8х10^-5 — 1125)

Максимальное давление (абс.), бар

2
10
p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)

Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C

≤250

Энергопотребление без интерфейса, Вт

≤2.5

Энергопотребление Device Net, Вт

≤3

Энергопотребление Profibus DP, Вт

≤3

Реле контурных точек

Диапазон (N2), мбар

5x10^-5 — 1000
5x10^-5 — 1500

Контакт реле

Замыкающий, сухой контакт
Плавающий переключающий контакт

Гистерезис, % от порогового значения

От

До

Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А

≤30/≤0.3

Номинальная нагрузка механических реле В/А

≤30/≤1

Максимальное время переключения, мс

От

До

Макс. длина кабеля при работе с RS232C, м

От

До

Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар

5х10^-4 — 1000

Повторяемость (воздух)

1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2

Диапазон измерения выходного сигнала, В

+1.9 — +10.0

Сигнал ошибки выходного сигнала, В

0 — +0.5 (разрушение катода)

Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм

10, защита от коротких замыканий

Настройка

1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума

Контрольные точки

2
Нет

Диапазон настройки

2х10^-3 — 500

Контакт реле, В/А

30/0.5 плавающий

Потребляемый ток, мА

<500 (максимальный ток при включении)

Пульсация, В (p-p)

≤1

Ориентации на монтаже

Любая

Цифровой интерфейс

RS232C
RS485
USB slave, ведущий/Ethernet, USB Тип A (стик), USB Тип B, FCC68/RJ45
Порт для диагностики

Температурный эффект на нуле, % F.S./°С

От

До

Температурный эффект в диапазоне, % F.S./°С

От

До

Разрешение, % F.S.

0.003

Нижняя граница чтения, % F.S.

0.01

Нижняя рекомендуемая граница считывания, % F.S.

0.05

Нижнее рекомендуемое контрольное давление, % F.S.

Выходной аналоговый сигнал, В

0 — +10
0 — +10.5
0 — +9 (логарифмическая функция)
0 — 10 постоянного тока
0 — 10.3, аналоговый выходной сигнал датчика

Количество уставок

2 (SP1, SP2)

Внутренний объем, дюйм³

От

До

Гистерезис, % F.S.

От

До

Релейные контакты, В/А

30/≤0.5 постоянного тока

Точность измерения (N2)

1 × 10^(-8) — 5 × 10^(-2) Торр % от показаний ±15

Реле уставки

1 А при 30 В (постоянного тока) резистивного или В (переменного тока) неиндуктивного напряжения
2
2 шт
4
6
нет (число уставок)

Контроль эмиссии

Вручную

Состояние нити накаливания

LED / реле
Дисплей/цифровой выход

Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2)

5х10^-10 — 2.7х10^-2 мбар

Прогрев на фланце без электроники BPG402-S

Диапазон измерений log/линейный

0 — +9

Минимальное сопротивление нагрузки, кОм

Вторичный аналоговый выход

Нет

Максимальная длина кабеля, фут

От

До

Внутренний объем KF/CF, см³

От

До

Конфигурация системы электродов

Датчики Байярда-Альперта

Рентгеновский предел, Торр

2х10^-11
4х10^-10

Чувствительность (N2, типовая)

10 Торр^-1
25 Торр^-1

Точность измерения (N2, типовая), ±%

От

До

Повторяемость (N2, типовая)

±5%

Электронная бомбардировка (EB) при дегазации

70 Вт номинально, ≤100 Вт
≤100 Вт
≤40 Вт

Резистивный нагрев при дегазации

6.3 — 7.5 В (переменный ток) при 10 А

Ток нагрева на катоде, А

2.5 — 3.5
4 — 6

Напряжение нагрева катода (постоянный ток), В

3 — 5

Потенциал на катоде, В

+30 постоянного тока
30 постоянного тока

Потенциал сетки, В

+180 постоянного тока

Материал анода

Вольфрам (W), Ø0.005''
Вольфрам (W), Ø0.010''
Молибден

Материал катода (нить накаливания)

Двойной иридий (Ir), или двойной вольфрам (W)
Двухслойное покрытие из вольфрама (W)
Одно/двухслойное иттриевое покрытие Ir или двухслойное W
Однослойное покрытие из иридия (Ir)

Изолятор

Керамика

Общая длина, дюйм

4⅛
6

Длина вставки, дюйм

От

До

Стеклянная колба

2 ¼'' диаметр х 5'' в длинну

Материал фланцев

SS AISI 304
Стекло Nonex 7720

Выходные коммуникации

Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C

Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике)

Да/ съемный

Электронное подключение, аналоговое/RS232

D-sub, 15-контактный, папа

Каналы измерения

Двухканальный
Одноканальный
Трехканальный

Частота, 1/с

Назначение канала

1
1 или 2
1, 2 или 3

Гистерезис

На 10% выше нижнего порога
Регулируемый

Допустимая мощность вкл/выкл контактов В

30/1 переменного тока

Разъем уставки

D-sub, 15-конт., папа

Программируемый аналоговый выход

От

До

Разъем аналогового выхода

D-sub, 15-контактный, папа

Внутренний объем KF/CF, дюйм³

От

До

Максимальный внутренний объем, см³

От

До

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В

От

До

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В

От

До

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В/А

От

До

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В/А

От

До

Максимальное напряжение выходного сигнала, В

От

До

Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В

От

До

Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В

От

До

Масса (включая батарею), г

От

До

Минимальная масса, г

От

До

Максимальная масса, г

От

До

Минимальная масса без интерфейса, г

От

До

Максимальная масса без интерфейса, г

От

До

Минимальная масса с интерфейсом, г

От

До

Максимальная масса с интерфейсом, г

От

До

Длина кабеля при работе с RS232C, фут

От

До

Потребляемая мощность, мВт

От

До

Максимальная потребляемая мощность, Вт

От

До

Высота, мм

От

До

Электропитание

Аккумулятор 9 В или внешний источник питания 12 — 15 В постоянного тока
Питание мостовой схемы зависит от заявленной цепи
номинальное значение 24 В

Условия эксплуатации

Для помещений / макс. степень загрязнения PD 2 / Относительная влажность макс. 80% (при t≤30°C), макс. 50% (при t≤40°C) / без конденсации
Для помещений / макс. степень загрязнения PD 2/ Относительная влажность макс. 80% (при t≤30°C), макс. 50% (при t≤40°C) / без конденсации

Потребляемая мощность, Вт

0.1
0.300000
0.800000
3 (доп. 0.8 для реле, ЖКД; доп 1.6 для Profinet)

Время работы

Встроенный литий-ионный аккумулятор: не менее 1000 часов
Встроенный литий-ионный аккумулятор: не менее 48 часов

Минимальная рабочая температура, °C

Максимальная температура окружающей среды, °C

От

До

Глубина, мм

От

До

Плашки товара

Хит

Работа в агрессивной среде

На странице каталога представлены:

Вакуумметры и датчики давления. Приборы серий ERSTVAK, INFICON и Thyracont измеряют давление в широком диапазоне — от форвакуума до сверхвысокого вакуума — и передают данные для контроля процессов.
Датчики и преобразователи давления. Модели с цифровым и аналоговым выходом, включая USB-интерфейс, обеспечивают удобную интеграцию в системы автоматизации.
Комплектующие для измерительных систем. Разъёмы, кабели и модули расширяют функциональность вакуумметрических комплексов и упрощают их подключение к оборудованию.