Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярные вакуумные насосы — это высоковакуумное оборудование для создания высокого и сверхвысокого вакуума за счет передачи импульса молекулам газа быстро вращающимся ротором. Турбомолекулярные насосы применяются в технологических, научно-исследовательских и промышленных вакуумных системах, где требуются высокая скорость откачки, чистота вакуума и стабильная работа. Купить турбомолекулярные вакуумные насосы можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Принцип работы турбомолекулярного вакуумного насоса

Основным рабочим элементом турбомолекулярного вакуумного насоса является быстро вращающийся ротор с лопатками. При вращении ротора лопатки передают импульс молекулам откачиваемого газа и направляют их в сторону выхода из насоса. За счет направленного движения частиц происходит последовательное перемещение и сжатие газа, что обеспечивает быстрое формирование высокого вакуума.

Передача импульса молекулам происходит за счет их теплового движения и взаимодействия с быстро движущимися лопатками ротора. Частицы, сталкиваясь с подвижными элементами, получают направленное движение, благодаря чему газ перемещается от входа насоса к выходу.

На входном патрубке предусматривается фильтр для очистки откачиваемой газовой смеси от механических включений. Сжатый газ перемещается через внутреннюю часть насоса и вытесняется через выходной клапан.

Турбомолекулярный насос не предназначен для начала откачки непосредственно из атмосферного давления. Для его нормальной работы требуется дополнительный форвакуумный насос, который обеспечивает необходимое давление на выходной стороне турбомолекулярной ступени.

Устройство турбомолекулярного вакуумного насоса

В основе конструкции турбомолекулярного вакуумного насоса находится ротор с набором лопаток, расположенных в специальных полостях перпендикулярно его оси. Лопатки устанавливаются под определенным углом к базовой плоскости, чтобы обеспечить необходимое направление движения молекул газа.

Между вращающимися лопатками располагаются неподвижные пластины. Расстояние между рабочими элементами минимально, поскольку небольшие зазоры являются одним из условий эффективной передачи импульса молекулам и перемещения газа внутри насоса.

Конструкция турбомолекулярного насоса требует высокой точности изготовления и сложных расчетов. Неровности рабочих поверхностей и увеличенные зазоры могут нарушать работу системы, поэтому для производства деталей используется высокоточное оборудование.

В рабочем тракте насоса отсутствует значительный объем, который мог бы привести к заметному загрязнению откачиваемой среды масляными парами или углеводородами.

Представленные бренды

KYKY

Турбомолекулярные насосы KYKY представлены сериями CFX и FF с различными вариантами подвески ротора. Серия CFX использует магнитный подвес, благодаря которому исключается механический контакт в опоре, снижаются шум и вибрации и отсутствует необходимость обслуживания магнитных подшипников. Серия FF оснащается механическим подвесом с керамическими подшипниками и гибридной ступенью.

Насосы KYKY предназначены для непрерывной откачки больших потоков газа и продолжительной эксплуатации. В зависимости от исполнения оборудование может иметь воздушное или водяное охлаждение и различные варианты управления.

EBARA

Турбомолекулярные насосы EBARA представлены сериями EMT и EBT, отличающимися конструкцией и особенностями исполнения. Оборудование предназначено для высоковакуумных систем и может использоваться в технологических и исследовательских установках.

Серии EBARA позволяют подобрать исполнение с учетом требований к подвеске ротора, охлаждению, управлению и условиям эксплуатации вакуумной системы.

CBVAC

Турбомолекулярные насосы CBVAC включают серии JFB, JZB и MTP, рассчитанные на различные варианты высоковакуумной откачки. Серия JFB объединяет высокоскоростные насосы с интегрированным управлением, JZB предназначена для сухой откачки с возможностью начала работы при атмосферном давлении, а MTP оснащается магнитной системой подвески ротора.

Такое разнообразие конструкций позволяет использовать оборудование CBVAC в полупроводниковом производстве, процессах нанесения покрытий, научно-исследовательских установках и других вакуумных системах, где требуется высокий или сверхвысокий вакуум.

Как выбрать турбомолекулярный вакуумный насос

При выборе турбомолекулярного вакуумного насоса необходимо учитывать требования всей вакуумной системы, поскольку оборудование работает совместно с форвакуумной ступенью. Основными параметрами являются требуемая скорость откачки, рабочий диапазон давления, конструкция подвески ротора и особенности интеграции насоса в установку.

При подборе оборудования учитывают:

• Скорость откачки — определяет количество газа, которое насос способен удалять из вакуумной системы за единицу времени;
• Рабочий диапазон давления — показывает, при каких давлениях насос должен обеспечивать требуемую скорость откачки;
• Предельное давление — учитывают при необходимости получения высокого или сверхвысокого вакуума;
• Тип подвески ротора — магнитный или механический вариант выбирают с учетом требований к чистоте, вибрациям и обслуживанию;
• Охлаждение — учитывают условия эксплуатации и требования конкретного исполнения насоса;
• Способ управления — оценивают возможность интеграции насоса с системой управления вакуумной установкой;
• Форвакуумное оборудование — турбомолекулярный насос требует дополнительного форвакуумного насоса для поддержания необходимого давления на выходе;
• Размер и тип присоединения — должны соответствовать вакуумной камере и магистрали системы;
• Условия технологического процесса — учитывают состав откачиваемого газа, газовую нагрузку и требования к чистоте вакуумной среды.

При выборе турбомолекулярного насоса важно рассматривать его характеристики совместно с параметрами вакуумной камеры, форвакуумной ступени и соединительной магистрали. Это позволяет подобрать оборудование, соответствующее требуемому режиму работы всей вакуумной системы.