- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB20
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB20
product-card
Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Данная серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Все модели насосов EBT имеют прочную и надежную механическую конструкцию керамического подшипника, не загрязняя откачиваемую среду, обеспечивают безотказную работу для создания вакуума в производстве полупроводников, фотогальванических элементов и нанесении тонких пленок.
Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и идеальны для мобильных применений. Данные насосы обладают высокими скоростями откачки и высоким коэффициентом сжатия по легким газам, что делает их идеальными для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитического оборудования.
Особенности и преимущества
- стойкость к прорыву атмосферы;
- монтаж в любом положении в пространстве;
- компактность;
- низкий уровень вибрации;
- водяное или воздушное охлаждение;
- способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
- продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
- защитный экран входит в комплект поставки;
- коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.
Применение
- установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
- установки имитации космического пространства;
- передвижные вакуумные посты и течеискатели;
- установки для осаждения распылением;
- ионные источники и электронно-лучевые испарители;
- газовая эпитаксия;
- газовая хроматография;
- производство полупроводников и микроэлектроники;
- биотехнологии.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- ISO-K63
- Выходной патрубок
- ISO-K63
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Масса, кг
- 5
- Производитель
- Ebara
- Серия
- EBT
- Страна
- Япония
- Длина, мм
- 102
- Высота, мм
- 170
- Ширина, мм
- 144
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 102×144×170
- Время выхода на режим, мин
- 2
Товары из этой же серии
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: VPZL
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ER-Lok
- Страна: Российская Федерация
- Внешняя скорость натекания по гелию, станд. см³/с: 1 × 10⁻⁹
- Внутренняя скорость натекания по гелию, станд. см³/с: 1 × 10⁻⁷
- Диапазоны выходного давления, psig: 0–25, 0–50, 0–100, 0–250, 0–500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SBF
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PTF
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGP
- Длина, мм: 527
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: FN
- Длина, мм: 406.4
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 65
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 580 × 500 × 730
В корзину
1
- Тип: Когтевые
- Производительность, м³/ч: 499.8
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Частота вращения, об/мин: 2850
- Мощность электродвигателя, кВт: 15
- Уровень шума, дБ(А): 81
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: QC
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.25
- Масса, кг: 6.2
- Серия: АИР
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 216x120x140
- Высота оси ротора, мм: 56
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 145
- Избыточное давление, мбар: 100
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.7
- Разрежение, мбар: 100
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: IMVI
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 420
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2,7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 55
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 100800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 36
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 63
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Серия: EMVF
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4000 × 3800 × 3200
В корзину
1
- Серия: EMVG
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 15400 × 5300 × 5200
В корзину
1
