Технические характеристики:
- Быстрота действия: 75 л/с.
- Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса: более 25 л/мин.
- Предельное остаточное давление: 10(-7) Па.
- Фланец на входе/выходе: DN63 CF.
- Время запуска: 2 мин.
- Время остановки: 2 мин.
- Пропускная способность по азоту: 10 sccm.
- Масса: 3-5кг.
- Габаритные размеры:
Высота: 144-170мм;
Диаметр: 102 мм.
- Монтажное положение: любое.
- Воздушное охлаждение (вентилятор).
- Стандартное исполнение.
Имеется встроенный контроллер ETC75 (для монтажа в стойку возможно применение контроллера ETC76)
Стандартный комплект поставки: насос, контроллер.
Дополнительные принадлежности: вентилятор для воздушного охлаждения контроллер для монтажа в стойку, кабель для электродвигателя (EBT70F-20), комплект клапанов для продувки, входной фитинг для подачи продувочного газа в комплекте, прецизионный игольчатый клапан, фланцы и фитинги.