Диффузионные насосы

Диффузионные вакуумные насосы — это оборудование для создания высокого и сверхвысокого вакуума, которое используется в промышленных, исследовательских и технологических установках. Насосы отличаются высокой скоростью откачки и позволяют получать низкое остаточное давление. Диффузионные насосы применяются в вакуумных печах, установках нанесения покрытий, металлургическом и другом оборудовании. Купить диффузионные вакуумные насосы можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Принцип работы диффузионного вакуумного насоса

Работа диффузионного вакуумного насоса основана на использовании струи паров рабочей жидкости для переноса молекул газа из вакуумной системы в сторону форвакуумной ступени. Рабочая жидкость нагревается, испаряется и в виде пара поступает в верхнюю часть насоса.

При прохождении через сопла пары рабочей жидкости формируют направленный поток, который захватывает молекулы остаточного газа и перемещает их к выходной части насоса. Далее газ удаляется форвакуумным насосом, поддерживающим необходимое давление на выходе диффузионной ступени.

После контакта с охлаждаемыми стенками корпуса пары рабочей жидкости конденсируются и возвращаются в нижнюю часть насоса. Цикл повторяется, обеспечивая непрерывную откачку газа из вакуумной системы.

Как выбрать диффузионный вакуумный насос

При выборе диффузионного насоса необходимо учитывать требуемую скорость откачки, предельное остаточное давление и параметры всей вакуумной системы. Насос подбирают с учетом объема камеры, газовой нагрузки и характеристик форвакуумного оборудования.

• Скорость откачки — определяет объем газа, который насос способен удалять за единицу времени;
• Предельное остаточное давление — характеризует минимальное давление, достижимое в вакуумной системе при заданных условиях;
• Рабочий диапазон давлений — необходимо учитывать давление запуска и диапазон, в котором диффузионный насос обеспечивает требуемую производительность;
• Производительность форвакуумного насоса — должна соответствовать газовой нагрузке и требованиям диффузионной ступени;
• Тип рабочей жидкости — подбирается с учетом требуемого уровня вакуума и условий технологического процесса;
• Защита от обратного потока — при чувствительности процесса к загрязнению необходимо предусмотреть соответствующие экраны и другие средства защиты;
• Охлаждение — учитывают способ отвода тепла и условия установки оборудования;
• Размеры и присоединительные параметры — должны соответствовать вакуумной камере и остальным элементам системы.

При подборе диффузионного насоса важно рассматривать его не отдельно, а как часть единой вакуумной системы. Скорость откачки, предельное давление и характеристики форвакуумного оборудования должны соответствовать объему камеры, составу газа и технологическому процессу.