- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Диффузионные насосы
- Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 100
Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 100
Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 100 — масляный диффузионный насос серии EVD для высоковакуумных систем. Диффузионная технология не использует механически движущиеся рабочие органы в высоковакуумной ступени: перенос газа обеспечивается потоком паров рабочей жидкости.
Рабочая жидкость нагревается в нижней части насоса, её пары проходят через сопловую систему и образуют направленные струи. Молекулы откачиваемого газа диффундируют в паровой поток и переносятся к зоне форвакуумного выхода. На охлаждаемых стенках корпуса пары рабочей жидкости конденсируются и возвращаются в нижнюю часть насоса, а газ удаляется форвакуумным насосом. Поэтому EVD применяется как высоковакуумная ступень и требует соответствующей форвакуумной откачки.
Рабочая среда и чистота вакуума
Для серии EVD характерна высокая скорость откачки при простой конструкции и отсутствии трущихся деталей в механизме переноса газа. В качестве рабочей жидкости может использоваться синтетическое кремнийорганическое масло. Для процессов, чувствительных к обратному потоку паров рабочей жидкости, в вакуумной системе применяют охлаждаемые ловушки, криопанели или жалюзи: такие элементы снижают поступление паров масла в откачиваемый объём. Выбор этой технологии особенно уместен там, где требования к чистоте вакуума допускают применение масляного диффузионного насоса.
Применение
Насосы EVD используют в промышленном и научно-техническом высоковакуумном оборудовании. Серия применяется в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленности.
- вакуумные печи и металлургическое оборудование;
- установки обработки и нанесения покрытий на поверхности;
- системы осаждения распылением;
- установки имитации условий космического пространства.
При проектировании вакуумной системы конкретную модель EVD подбирают с учётом требуемого рабочего давления, газовой нагрузки, допустимого форвакуумного давления и возможностей форвакуумного насоса.
- Тип
- Диффузионные
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Масляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 14.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 5 × 10⁻⁷
- Мощность, кВт
- 1
- Входной патрубок
- DN100
- Выходной патрубок
- DN32
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 320×260×365
- Масса, кг
- 14
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 10
- Объем масла, л
- 0.15
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 180
- Время выхода на режим, мин
- 30
- Температура охлаждающей воды
- +4 — +20
- Напряжение, В
- 220
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 35
- Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.)
- 0.4
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: