Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVDM-400

Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 400 — масляный высоковакуумный насос серии EVD, предназначенный для создания высокого вакуума в составе многоступенчатых откачных систем. Модель обеспечивает предельное остаточное давление 7 × 10⁻⁷ мбар (абс.) при мощности нагревателя 5 кВт. Входной патрубок DN400 и форвакуумный выход DN63 позволяют включать насос в высоковакуумные установки с крупным проходным сечением на стороне откачиваемого объема.

Преимущества и особенности

Диффузионная схема относится к пароструйным способам откачки. Рабочее масло нагревается в нижней части насоса и образует поток пара, который проходит через сопловую систему. Молекулы откачиваемого газа диффундируют в направленный паровой поток и переносятся к форвакуумному выходу. На охлаждаемых стенках пары рабочей жидкости конденсируются и возвращаются в нижнюю часть корпуса, поэтому циркуляция масла происходит внутри насосного тракта без механического ротора.

• Отсутствие быстро вращающихся рабочих органов в высоковакуумной ступени уменьшает количество механически нагруженных узлов и позволяет использовать насос в длительных производственных циклах.
• Водяное охлаждение обеспечивает конденсацию паров рабочей жидкости на стенках корпуса и их возврат в рабочий контур.
• Многоступенчатая сопловая система последовательно переносит газ к форвакуумной линии и обеспечивает работу в области высокого вакуума.
• Масляная диффузионная технология обеспечивает высокую скорость откачки при работе с крупными вакуумными объемами, однако требует учитывать обратный поток паров масла при проектировании чистых вакуумных процессов.
• Для уменьшения поступления паров масла в откачиваемую систему совместно с диффузионными насосами могут применяться водоохлаждаемые жалюзи или криопанели.

Диффузионный насос работает как высоковакуумная ступень и требует форвакуумного насоса, который поддерживает необходимое давление на выходе. Поэтому при проектировании системы характеристики EVD 400 согласовывают с производительностью форвакуумной ступени, вакуумной арматурой и проводимостью соединительных линий.

Применение

ERSTVAK EVD 400 используется в вакуумных печах, установках обработки поверхностей, камерах имитации космического пространства, оборудовании для осаждения и распыления покрытий, а также в металлургических вакуумных системах. Насосы серии EVD используются в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленности. Высоковакуумная паромасляная схема подходит для установок, где требуется глубокое разрежение и высокая пропускная способность, а требования к чистоте вакуума допускают применение масляного диффузионного насоса или предусматривают средства подавления обратного потока рабочей жидкости.