Установки термического испарения

ЭРСТВАК предлагает установки термического испарения для нанесения тонких пленок на подложки, подготовки образцов и исследовательских задач. Мы сгруппировали серии по типу камеры и возможностям осаждения — это поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

CY-EVZ I-H-Q, CY-EVZ I-H-SS, CY-EVZ I-H-SS-SJ — компактные настольные установки CYKY для высоковакуумного термического напыления металлов, органических материалов и некоторых неметаллических покрытий. Они оснащаются вольфрамовыми испарителями, регулируемыми столиками образцов и сенсорным управлением. Подходят для OLED, электродов, тонкопленочных исследований и материаловедения.

CY-EVZ II-HH-SS, CY-EVZ II-HH-SS-SL — установки CYKY с двумя независимыми источниками испарения. Такое исполнение удобно для последовательного или одновременного напыления материалов, а версия SL дополнительно снижает перегрев образцов за счет водоохлаждаемого столика. Серии применяются для полимерных пленок, OLED-структур и лабораторных покрытий.

DTE — настольная установка Vac Coat для кратковременного термического испарения благородных и окисляющихся металлов. Система использует сильноточный источник питания, платформу для лодочек, корзин и спиралей, а также контроль толщины покрытия. Подходит для исследовательских подложек и подготовки образцов к электронной микроскопии.

DTT — высоковакуумная установка Vac Coat с тремя независимыми испарителями для многослойных покрытий и сплавов. Благодаря выбору источника испарения, турбомолекулярной откачке и сенсорному управлению серия удобна для быстрых лабораторных процессов, где важны повторяемость, контроль толщины и гибкость по материалам.