Высоковакуумная настольная установка термического испарения Vac Coat DTT

Настольная установка DTT представляет собой высоковакуумную систему термического испарения с турбомолекулярным насосом для нанесения тонких пленок. Благодаря трем независимым испарителям (лодочка, корзина, спираль) и системе выбора источника, установка идеально подходит для осаждения многослойных покрытий и сплавов. Компактные размеры вакуумной камеры позволяют достичь рабочего давления за короткое время, а процесс нанесения занимает всего несколько минут.

Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с полностью автоматическим контролем и вводом данных, что делает работу с устройством доступной даже для неопытных пользователей. Параметры вакуума, тока и осаждения отображаются на сенсорном экране в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах нанесения.

Преимущества

• Возможность осаждения многослойных покрытий
• Крупногабаритная вакуумная камера
• Выбор источника испарения (лодочка, корзина, спираль) для осаждения многослойных пленок
• Совместное испарение для формирования пленок сплавов (опционально)
• Кварцевый контроллер толщины для измерения в реальном времени с точностью до 1 нм
• Ручное или автоматическое осаждение по времени или по толщине
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

• Сильноточный источник питания для совместного испарения
• Датчики кварцевого контроллера толщины
• Запасная стеклянная вакуумная камера
• Испарители (лодочки, корзины, спирали)
• Нагрев подложки до 500 °C для 2-дюймовых образцов
• Вращение образца
• Масс-расходомер (MFC)
• Уплотнительные прокладки