Криогенные насосы

Криогенные вакуумные насосы — это высоковакуумное оборудование для создания чистого вакуума за счет криогенной откачки газов. Крионасосы работают без использования масла в откачиваемом тракте и применяются в процессах, где требуется высокий уровень вакуума, большая скорость откачки и отсутствие загрязнений в вакуумной системе. Купить криогенные вакуумные насосы можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Принцип работы криогенных вакуумных насосов

Работа криогенного вакуумного насоса основана на охлаждении специальных поверхностей до сверхнизких температур, при которых молекулы газа конденсируются или удерживаются за счет адсорбции.

В конструкции насоса используется криоохладитель, который обеспечивает охлаждение рабочих элементов до температур порядка 10–20 К. При контакте с охлажденными поверхностями различные компоненты газа осаждаются внутри насоса, что позволяет создавать высокий и сверхвысокий вакуум.

В отличие от механических вакуумных насосов, крионасосы не используют масло или другие рабочие жидкости в процессе откачки. Благодаря этому оборудование применяется в системах, где требуется чистая вакуумная среда без риска загрязнения.

Представленные бренды

ERSTVAK

Криогенные вакуумные насосы ERSTVAK предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских установках. Линейка включает серии CryoVac EV-CTP и CryoVac EV-ICTP, которые отличаются конструкцией и возможностями управления.

Насосы ERSTVAK обеспечивают безмасляную откачку за счет криоконденсации и адсорбции газов на охлажденных поверхностях. Серия EV-ICTP дополнительно оснащается встроенным контроллером для автоматизации управления, мониторинга и процессов регенерации.

SHI

Криогенные вакуумные насосы SHI представлены серией Marathon CP, предназначенной для высоковакуумных технологических и исследовательских систем. Насосы используют охлажденные поверхности для улавливания газовых компонентов и позволяют получать чистый вакуум без применения масла в откачиваемом тракте.

Оборудование серии Marathon CP применяется в производстве полупроводников, вакуумном напылении, испытательных установках, системах солнечной энергетики и исследовательских вакуумных комплексах.

CRYO H&I

Криогенные вакуумные насосы CRYO H&I серии GENCRYO предназначены для создания высокого вакуума в технологических и исследовательских системах. Насосы обеспечивают полностью безмасляную откачку и используют криогический принцип удержания газов на охлажденных поверхностях.

Серия GENCRYO применяется в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, исследованиях состояния поверхностей, а также в системах, где требуется высокая скорость откачки и стабильная работа при высоком вакууме.

Как выбрать криогенный вакуумный насос

При выборе криогенного вакуумного насоса необходимо учитывать требования вакуумной системы, необходимый уровень давления, состав откачиваемых газов и особенности технологического процесса. Подбор оборудования выполняется с учетом требуемой скорости откачки, размеров вакуумной камеры и условий эксплуатации.

Основные параметры выбора:

• Скорость откачки — определяет объем газа, который насос способен удалить за единицу времени. Параметр выбирают с учетом объема вакуумной камеры, газовой нагрузки и требований процесса;
• Предельное остаточное давление — показывает минимальный уровень давления, который способен обеспечить насос, и является одним из основных параметров для систем высокого и сверхвысокого вакуума;
• Состав откачиваемых газов — различные газовые компоненты имеют разные температуры конденсации и адсорбции, поэтому состав среды необходимо учитывать при подборе оборудования;
• Размер вакуумного фланца — влияет на интеграцию насоса в существующую систему и соответствие требуемой скорости откачки;
• Система управления — автоматизированные модели позволяют контролировать параметры работы насоса, регенерацию и взаимодействие с вакуумной системой;
• Режим регенерации — учитывают необходимость полной или частичной регенерации для восстановления сорбционной способности насоса;
• Совместимость с вакуумной системой — оценивают требования к размещению оборудования, компрессору, управлению и условиям эксплуатации;
• Область применения — учитывают требования конкретной задачи: производство полупроводников, нанесение покрытий, научные исследования или испытательные установки.

При подборе криогенного вакуумного насоса важно учитывать не только создаваемый уровень вакуума, но и соответствие оборудования конкретному технологическому процессу. Специалисты ERSTVAK помогут выбрать подходящую модель с учетом параметров вакуумной системы и условий эксплуатации.