Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-8 CF200

Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-8 CF200 в исполнении с фланцем ConFlat 10″ — компактная модель серии MARATHON CP для высоковакуумных технологических и исследовательских систем. Насос использует криоохладитель SHI CH-204 10K: откачиваемые газы улавливаются на охлаждённых поверхностях, поэтому вакуум создаётся без масляной рабочей жидкости в откачном тракте. Модель рассчитана на удаление воздуха, водяного пара, аргона и водорода.

CP-8 относится к самым компактным крионасосам семейства Marathon CP и использует пневматический привод Displex®, уменьшающий число изнашиваемых деталей холодильного механизма. Для работы насос соединяется с водоохлаждаемым гелиевым компрессором SHI; в зависимости от конфигурации системы применяются совместимые компрессоры семейства Freedom.

Эксплуатация и управление

Для CP-8 предусмотрено стандартное ручное управление и опциональная полностью автоматизированная работа с контроллером Marathon Cryopump Controller. Насос можно обслуживать на месте установки без снятия с вакуумной камеры и без нарушения вакуума в самой камере. Такая схема упрощает сервис встроенного вакуумного узла и сокращает объём демонтажных операций.

В стандартную систему входят крионасос, совместимый компрессор, гибкие гелиевые линии, кабель холодной головки и комплект инструмента. При интеграции учитывают доступ к насосу для регенерации и обслуживания, размещение компрессора, трассировку газовых линий и требования системы управления.

Области применения

Насосы MARATHON CP используют в высоковакуумных процессах, где требуется эффективное удаление различных газов из технологической камеры.

• полупроводниковое производство и изготовление плоских дисплеев;
• вакуумное напыление и процессы нанесения покрытий;
• термовакуумное оборудование и системы солнечной энергетики;
• измерительные установки и исследовательские вакуумные стенды.