Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO

Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO — крупное исполнение серии MARATHON CP с входным фланцем ISO 500 мм для высоковакуумных технологических и исследовательских установок. Модель использует криоохладитель SHI CH-210 10K: газы улавливаются на охлаждённых поверхностях насоса, что позволяет удалять из вакуумной камеры воздух, водяной пар, аргон, водород и другие компоненты без масляной рабочей жидкости в откачном тракте.

CP-20 является крупнейшей моделью семейства Marathon CP. В конструкции применены пневматический привод Displex® и технология Whisper®, а для работы используется водоохлаждаемый гелиевый компрессор F-70L/H. Такое сочетание рассчитано на высоковакуумные системы с крупным входным сечением и значительным газовым потоком.

Эксплуатация и управление

Насос допускает стандартное ручное управление и опциональную полностью автоматизированную работу с контроллером Marathon Cryopump Controller. Конструкция предусматривает обслуживание на месте установки: сервисные операции можно выполнять без снятия насоса с вакуумной камеры и без нарушения вакуума в самой камере. Это особенно важно для производственных установок, где вакуумный узел встроен в технологическую линию и длительный демонтаж нежелателен.

В стандартную систему вместе с крионасосом входят совместимый компрессор, гибкие газовые линии, кабель холодной головки и инструмент для подключения. При проектировании установки учитывают размещение компрессора, трассировку гелиевых линий, охлаждающую воду и требования системы управления.

Области применения

MARATHON CP применяют в процессах, где нужен стабильный высокий вакуум и высокая скорость удаления газов при работе технологической камеры.

• полупроводниковое производство и изготовление плоских дисплеев;
• вакуумное напыление и другие процессы нанесения покрытий;
• термовакуумные установки и оборудование солнечной энергетики;
• измерительные системы и исследовательские вакуумные стенды.