Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для PVD)

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W для PVD предназначен для процессов физического осаждения из паровой фазы и других задач вакуумного нанесения покрытий. Криогенная откачка связывает водяной пар и технологические газы на охлаждённых поверхностях посредством конденсации и адсорбции, формируя чистый высоковакуумный объём без масла в зоне откачки.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Для производственного PVD-цикла это позволяет планировать восстановление ёмкости между сериями операций без ручного управления каждым этапом охлаждения и прогрева.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 3600 л/с;
• скорость откачки по аргону — 2000 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 6500 л/с;
• ёмкость по аргону — 2000 SL;
• ёмкость по водороду — 16 SL;
• полная регенерация — 115 минут;
• быстрая регенерация — 50 минут.

Применение

EV-ICTP-250W для PVD применяют в магнетронном распылении, вакуумном напылении и других PVD-процессах, включая получение покрытий для оптики и микроэлектроники. При подборе учитывают состав технологического газа, нагрузку по водяному пару, требуемое давление и длительность цикла между регенерациями.