Приходите на мероприятия в сентябре: Термообработка (16-18.09), EFRE (14-18.09), Вакуумная наука и техника (15-18.09), Агропродмаш (28.09-01.10)

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для PVD)

product-card
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для PVD)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для PVD)
Описание
Характеристики
Графики и чертежи
Проекты
Отзывы клиентов

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W для PVD предназначен для процессов физического осаждения из паровой фазы и других задач вакуумного нанесения покрытий. Криогенная откачка связывает водяной пар и технологические газы на охлаждённых поверхностях посредством конденсации и адсорбции, формируя чистый высоковакуумный объём без масла в зоне откачки.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10−7 Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Для производственного PVD-цикла это позволяет планировать восстановление ёмкости между сериями операций без ручного управления каждым этапом охлаждения и прогрева.

Технические характеристики

  • скорость откачки по водороду — 3600 л/с;
  • скорость откачки по аргону — 2000 л/с;
  • скорость откачки по водяному пару — 6500 л/с;
  • ёмкость по аргону — 2000 SL;
  • ёмкость по водороду — 16 SL;
  • полная регенерация — 115 минут;
  • быстрая регенерация — 50 минут.

Применение

EV-ICTP-250W для PVD применяют в магнетронном распылении, вакуумном напылении и других PVD-процессах, включая получение покрытий для оптики и микроэлектроники. При подборе учитывают состав технологического газа, нагрузку по водяному пару, требуемое давление и длительность цикла между регенерациями.

Тип
Криогенные
Уровень вакуума
Сверхвысокий
Тип смазки
Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч
8640
Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
1 × 10⁻⁹
Входной патрубок
ISO-K250
Охлаждение
Водяное
Масса, кг
32
Минимальная температура окружающей среды, °С
5
Расход рабочей жидкости, л/мин
6.5
Температура охлаждающей воды
+8 — +35
Максимальная температура окружающей среды, °C
40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

 

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Аватар пользователя
Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Аватар пользователя
Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Аватар пользователя
Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Аватар пользователя
Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 5400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200W
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200W
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 5400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 8640
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для систем ионной имплантации)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для систем ионной имплантации)
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 7920
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 14400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для PVD)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для PVD)
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 14400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для систем ионной имплантации)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для систем ионной имплантации)
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 12960
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-400
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-400
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 21600
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-500
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-500
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 36000
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1

Информация о бренде

ERSTVAK

Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.

Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.

Не забудьте купить

Смотровое окно KING LAI VP-KD-KF-40 (боросиликат)
Смотровое окно KING LAI VP-KD-KF-40 (боросиликат)
  • Производитель: King Lai
  • Серия: VP
  • Страна: Китай
В корзину
1
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-KF50XCF462
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-KF50XCF462
  • Производитель: King Lai
  • Серия: ADC
  • Длина, мм: 103.1
  • Страна: Китай
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI CRVS 60/TT-CT ex. 09
Водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI CRVS 60/TT-CT ex. 09
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 1900
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 90
  • Частота вращения, об/мин: 740
В корзину
1
Угольник ввертной ER-Lok – LM (MT-MN)
Угольник ввертной ER-Lok – LM (MT-MN)
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: LM
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумная печь горячего прессования и диффузионной сварки ERSTVAK VHDW-996
Вакуумная печь горячего прессования и диффузионной сварки ERSTVAK VHDW-996
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VHDW
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно King Lai VP-QZ-CF-133 кварцевое стекло
Вакуумное смотровое окно King Lai VP-QZ-CF-133 кварцевое стекло
  • Производитель: King Lai
  • Серия: VP-QZ
  • Страна: Китай
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC200-150-315-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC200-150-315-112/4
  • Мощность, кВт: 55
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: LAGUNA EC
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1945 × 730 × 995
В корзину
1
Автоклав для вулканизации каучука ERSTVAK ATU-15V
Автоклав для вулканизации каучука ERSTVAK ATU-15V
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ATU-V
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Клапан пневматический угловой KYKY CDQ-JB150 с сильфонным уплотнением
Клапан пневматический угловой KYKY CDQ-JB150 с сильфонным уплотнением
  • Производитель: KYKY
  • Серия: CDQ
  • Страна: Китай
В корзину
1
Переходник цилиндрический King Lai KF-SRN-40x25
Переходник цилиндрический King Lai KF-SRN-40x25
  • Производитель: King Lai
  • Серия: SRN
  • Длина, мм: 43.2
  • Страна: Китай
В корзину
1

Вы смотрели

Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 7 3ph
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 7 3ph
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Скорость откачки, м³/ч: 7.2
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 15.012
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-IBWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-IBWС
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 15.012
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Горизонтальная вакуумная индукционная печь ERSTVAK VIS-H-7715
Горизонтальная вакуумная индукционная печь ERSTVAK VIS-H-7715
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VIS
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Иммерсионный нитевой источник электронов Kaufman & Robinson HFL-A01
Иммерсионный нитевой источник электронов Kaufman & Robinson HFL-A01
  • Производитель: Kaufman & Robinson
  • Серия: HFL
  • Страна: США
В корзину
1
Горизонтальная вакуумная индукционная печь ERSTVAK VIS-H-5512
Горизонтальная вакуумная индукционная печь ERSTVAK VIS-H-5512
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VIS
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Центробежный высоконапорный вентилятор ERSTVAK ECF 100/А 3 ф
Центробежный высоконапорный вентилятор ERSTVAK ECF 100/А 3 ф
  • Тип: Высоконапорные вентиляторы
  • Производительность, м³/ч: 1500
  • Избыточное давление, мбар: 20
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
  • Уровень шума, дБ(А): 75
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ALPINA 5 F+ 8 бар
Компрессорная станция ERSTVAK ALPINA 5 F+ 8 бар
  • Тип: Спиральные
  • Производительность, м³/ч: 22.8
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 3.7
  • Уровень шума, дБ(А): 63
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Низкотемпературный лабораторный термостат ERSTVAK THERMIA DCC-25/3
Низкотемпературный лабораторный термостат ERSTVAK THERMIA DCC-25/3
  • Тип: Нагрев
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: THERMIA
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 350х530х630
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-4/8
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-4/8
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 8000
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 160
  • Мощность, кВт: 200
  • Частота вращения, об/мин: 570
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!