Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-500

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-500 — высокопроизводительная модель для чистых высоковакуумных систем большого объёма. Газовая нагрузка удерживается на криогенно охлаждённых поверхностях посредством конденсации и адсорбции, поэтому масло в рабочем вакуумном объёме не требуется. Встроенный контроллер объединяет управление охлаждением, рабочим режимом и регенерацией.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Для EV-ICTP-500 полная регенерация занимает около 200 минут. После удаления накопленных газов криоповерхности снова охлаждаются, и насос возвращается к рабочему состоянию.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 18000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 8400 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 30000 л/с;
• ёмкость по аргону — 6000 SL;
• ёмкость по водороду — 46 SL;
• полная регенерация — около 200 минут.

Применение

EV-ICTP-500 подходит для крупных камер вакуумного напыления, полупроводниковых линий, испытательных вакуумных систем и высокопроизводительных научных установок. При подборе учитывают состав газовой нагрузки, требуемую скорость по отдельным компонентам, ресурс между регенерациями и конфигурацию компрессорной части. Высокая скорость по водяному пару и лёгким газам позволяет использовать модель в процессах с интенсивным газовыделением.