Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для PVD)

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W для PVD — специализированное исполнение для вакуумного нанесения покрытий и технологических камер с высокой газовой нагрузкой. Водяной пар и другие компоненты удерживаются на охлаждённых поверхностях посредством криоконденсации и адсорбции. В рабочем вакуумном объёме не используется масло, что помогает сохранять чистоту процесса нанесения.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Автоматизация полного и быстрого циклов упрощает эксплуатацию насоса в производственных PVD-линиях с повторяющимися технологическими сериями.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 6000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 3300 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 11000 л/с;
• ёмкость по аргону — 3100 SL;
• ёмкость по водороду — 20 SL;
• полная регенерация — 150 минут;
• быстрая регенерация — 75 минут.

Применение

EV-ICTP-320W для PVD используют в магнетронном распылении, PVD-покрытиях, обработке оптических изделий, микроэлектронике и крупных производственных вакуумных камерах. При подборе насоса учитывают рабочий газ, нагрузку по водяному пару, необходимую скорость откачки и допустимую продолжительность цикла между регенерациями.