Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200 объединяет безмасляную криогенную откачку и электронное управление в одном оборудовании. Газ улавливается за счёт криоконденсации и адсорбции на охлаждённых поверхностях, поэтому в вакуумной части не требуется масло. Такая схема подходит для чистых технологических процессов, где важны высокий вакуум, автоматизация и воспроизводимый цикл работы.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 2500 л/с;
• скорость откачки по аргону — 1200 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 4000 л/с;
• ёмкость по аргону — 1000 SL;
• ёмкость по водороду — 12 SL;
• полная регенерация — около 90 минут;
• быстрая регенерация — около 35 минут.

Применение

EV-ICTP-200 подходит для PVD и вакуумного напыления, полупроводниковых процессов, автоматизированных высоковакуумных камер и исследовательских установок. При выборе рабочего режима учитывают состав газовой нагрузки, различие скорости откачки по отдельным газам и доступную ёмкость до регенерации. Встроенная автоматика особенно полезна там, где насос должен быть частью общего технологического цикла установки.