- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- НН-нить накала или ПК-полый катод
- Диаметр разрядной камеры, см
- 4
- Высота ионного источника, дюйм
- 3
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 3.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 5
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 2 — 25
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 300
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PT
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Охлаждение: Воздушное
- Производитель: PIV
- Серия: TS
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 745 × 560 × 658
В корзину
1
- Масса, кг: 250
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: NOVA CARBON
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1155 × 400 × 1348
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 10600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 160
- Мощность, кВт: 250
- Частота вращения, об/мин: 570
В корзину
1
- Мощность, кВт: 200
- Масса, кг: 700
- Производитель: Kewell
- Серия: D2000-IV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 850 × 1000 × 1500
В корзину
1
- Производитель: CME
- Серия: KRD100
- Страна: Китай
- Напряжение, В: 380
В корзину
1
- Масса, кг: 245
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-TS
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 505 × 910 × 1080
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: VPZL
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Hiden Analytical
- Серия: HAL/3F
- Страна: Великобритания
В корзину
1
- Охлаждение: Нагрев и охлаждение с помощью циркуляционного термостата
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SSC
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вы смотрели
- Масса, кг: 350
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100 × 750 × 1400
В корзину
1
- Масса, кг: 8
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-CAM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 360x200
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCP6
- Страна: Германия
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSC
- Страна: Германия
В корзину
1
