- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH200
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH200
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Высота ионного источника, дюйм
- 2
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 2.5
Товары из этой же серии
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Серия: 4CMA
- Длина, мм: 100
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CRO
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
- Мощность, кВт: 0.55
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CRN
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VN
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1182
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CF-BL
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 45
- Масса, кг: 560
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EW
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1505 × 650 × 615
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2.2
- Масса, кг: 171
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EW
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 980 × 450 × 495
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вы смотрели
- Масса, кг: 7
- Производитель: DynaTronic
- Серия: DE
- Длина, мм: 237
- Страна: Китай
- Высота, мм: 338
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1398
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Масса, кг: 1500
- Производитель: CME
- Серия: KRD20
- Длина, мм: 1050
- Страна: Китай
- Высота, мм: 1300
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 4.9
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Уровень шума, дБ(А): 44
- Масса, кг: 26.8
- Производитель: WELCH
- Серия: LVS
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: STP
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 1000
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100 × 850 × 1600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 40
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 280.08
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 3 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 4
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 25
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
