- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH2000LO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH2000LO
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 4
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 5.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 15
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 2 — 75
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 250
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Серия: CF-BL
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: FirePower
- Серия: 3LT
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGP
- Длина, мм: 527
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Рефрижераторные
- Мощность, кВт: 0.78
- Масса, кг: 48
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ERD
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Масса, кг: 0.215
- Производитель: IPL
- Серия: PLUTONE BIO
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 2598
- Избыточное давление, мбар: 200
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: MB
- Длина, мм: 1000
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2.2
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA MS
- Страна: Российская Федерация
- Обороты, об/мин: 2900
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 11400
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 300
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: UBJ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 126
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCR
- Страна: Германия
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 235
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
В корзину
1
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 64.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 3 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Масса, кг: 393
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-VAK
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 9432
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 280
- Уровень шума, дБ(А): 105
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSH
- Страна: Германия
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-КТХВ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 390
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 700*850*1850
В корзину
1
