- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000LE
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000LE
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- НН-нить накала или ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 4
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 5.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 12
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 2 — 50
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 30
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 150
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Мощность, кВт: 7.5
- Производитель: Kewell
- Серия: C3000
- Страна: Китай
- Напряжение, В: 750
В корзину
1
- Мощность, кВт: 90
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EC
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1870 × 730 × 960
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 4
- Мощность, кВт: 0.25
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 1380
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 30
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СИРИУС
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AD-WP
- Длина, мм: 70.1
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 150
- Мощность, кВт: 0.25
В корзину
1
- Мощность, кВт: 100
- Масса, кг: 505
- Производитель: Kewell
- Серия: D2000-IV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 640 × 900 × 1600
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: FN
- Длина, мм: 196.1
- Страна: Китай
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 39
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Уровень шума, дБ(А): 66
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 1100
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 1700
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VHDW
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 2200
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 2200
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 5040
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 3150
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 2400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 12.5
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Уровень шума, дБ(А): 50
- Масса, кг: 38
- Производитель: WELCH
- Серия: LVSF
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 65
- Избыточное давление, мбар: 350
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.81
- Разрежение, мбар: 280
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 3300
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 355
- Уровень шума, дБ(А): 84
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
