- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400LE
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400LE
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- НН-нить накала или ПК-полый катод
- Диаметр разрядной камеры, см
- 4
- Высота ионного источника, дюйм
- 3
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 3.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 10
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 2 — 25
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 30
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 150
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 7260
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 200
- Уровень шума, дБ(А): 85
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 9000
- Избыточное давление, мбар: 900
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 147
- Уровень шума, дБ(А): 75
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1440
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Уровень шума, дБ(А): 77
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 2040
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 45
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R23/R14 (По запросу – смесь R125/R23/14)
- Масса, кг: 565
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 800*1200*1850
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 1000
- Масса, кг: 35
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ER-FFU-E
- Длина, мм: 575
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Центробежные
- Производительность, м³/ч: 7800
- Избыточное давление, мбар: 686
- Тип смазки: Масляная
- Мощность электродвигателя, кВт: 200
- Тип подшипников: Качения (шариковые)
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PT
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-6
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 320
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 650*850*1850
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 20
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 972
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 110
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: MPG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
- Масса, кг: 164
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVI
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1165 × 640 × 1320
В корзину
1
