- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 20
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 250
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Мощность, кВт: 4
- Масса, кг: 34
- Серия: 1LE3
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 415х250х289
- Высота оси ротора, мм: 112
В корзину
1
- Производитель: RigorPower
- Серия: RG
- Страна: Индия
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SAHARA C
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1010 × 680 × 1996
В корзину
1
- Масса, кг: 180
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: NOVA W
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 12480
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 150
- Разрежение, мбар: 400
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 120
- Мощность, кВт: 2.5
- Охлаждение: Воздушное
- Масса, кг: 103
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VU
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 4500
- Избыточное давление, мбар: 400
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 55
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: CFT-V
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: Hiden Analytical
- Серия: HALO
- Страна: Великобритания
В корзину
1
- Производитель: CME
- Серия: KRD100
- Страна: Китай
- Напряжение, В: 380
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 2.2
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Уровень шума, дБ(А): 44
- Масса, кг: 19
- Производитель: WELCH
- Серия: LVS
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSH
- Страна: Германия
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-КТХВ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCL
- Страна: Германия
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VCH
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSP6
- Страна: Германия
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-КТХВ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
