- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 20
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 250
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
Не забудьте купить
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СИРИУС
- Страна: Российская Федерация
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 2.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8
- Мощность, кВт: 0.24
- Масса, кг: 16.2
- Производитель: SOLBERG
- Серия: SM
- Страна: США
- Серия: ETHI
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4355 × 2085 × 1980
- Производитель: King Lai
- Серия: QC
- Страна: Китай
- Мощность, кВт: 2.4
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: CT
- Страна: Китай
- Уровень шума, дБ: 70
- Производитель: KYKY
- Серия: CCQ
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Серия: CRO
- Страна: Китай
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 210
- Избыточное давление, мбар: 220
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
- Разрежение, мбар: 230
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
