Установки вакуумного напыления

ЭРСТВАК предлагает установки вакуумного напыления для нанесения тонких пленок, подготовки образцов, микроанализа и тонкопленочных исследований. Мы сгруппировали серии по технологии нанесения и формату установки — это поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

CY-EVZ I-H-Q, CY-EVZ I-H-SS, CY-EVZ I-H-SS-SJ, CY-EVZ II-HH-SS, CY-EVZ II-HH-SS-SL — установки CYKY для термического напыления металлов, органических материалов и отдельных неметаллов. Они оснащаются вольфрамовыми источниками испарения, регулируемыми столиками образцов, высоковакуумными камерами и сенсорным управлением. Серии подходят для OLED, электродов, полимерных пленок, материаловедения и R&D-задач.

DSR1, DST1-170, DST1-300, DST3 — магнетронные напылительные установки Vac Coat. DSR1 компактна для благородных металлов и СЭМ-подготовки, DST1-170 работает с металлами в высоком вакууме, DST1-300 рассчитана на крупные образцы и толстопленочные покрытия, а DST3 использует несколько мишеней для сплавов и многослойных структур. Эти серии применяют в электронной микроскопии, тонкопленочных исследованиях и нанесении металлов, диэлектриков и полупроводников.

DCR, DCT — установки углеродного напыления Vac Coat для подготовки образцов к СЭМ, ПЭМ, EDS/WDS и EBSD. Они формируют равномерные углеродные пленки, поддерживают импульсное осаждение, контроль толщины и автоматизированное управление. Серии нужны для проводящего покрытия непроводящих образцов, рентгеновского микроанализа и высокоразрешающей электронной микроскопии.

DSCR, DSCR-300, DSCT, DSCT-T, DST2-TG — комбинированные системы Vac Coat, объединяющие магнетронное напыление, углеродное осаждение и, в отдельных версиях, термическое испарение. DSCR удобна для компактных задач, DSCR-300 — для крупных образцов, DSCT и DSCT-T рассчитаны на высоковакуумную подготовку к FE-SEM, ПЭМ и EBSD, а DST2-TG подходит для широкого спектра материалов и многорежимного нанесения.

DTE, DTT — установки термического испарения Vac Coat для нанесения тонких пленок исследовательского назначения. DTE — компактное решение для кратковременного осаждения благородных и окисляющихся металлов, DTT — система с тремя независимыми испарителями для многослойных покрытий и сплавов. Они полезны при подготовке подложек, микроскопии и лабораторных тонкопленочных экспериментах.