Вакуумная настольная напылительная установка комбинированного напыления Vac Coat DSCR

Настольная установка DSCR представляет собой компактную комбинированную систему для магнетронного напыления и напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити. Прибор позволяет наносить тонкие пленки из благородных металлов (золото, палладий, платина и их сплавы) на непроводящие или слабопроводящие образцы, а также формировать углеродные покрытия. 

DSCR объединяет в одном корпусе два сменных узла: магнетронный источник для DC-напыления и испаритель для осаждения углерода (нить). Установка оснащена пластинчато-роторным насосом, обеспечивающим вакуум менее 50 мТорр, что подходит для обоих типов нанесения. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях с возможностью выгрузки на ПК через USB-порт.

Преимущества

• Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление
• Низковольтное магнетронное напыление
• Испарительная головка для напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити
• Источник питания с высоким током в импульсном режиме для осаждения углерода
• Высокое разрешение формирования тонких пленок (размер зерен золота до 2 нм)
• Рабочая камера из боросиликатного стекла диаметром 170 мм
• Импульсный источник питания с регулировкой тока от 0 до 100 мА
• Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм
• Мониторинг толщины пленки
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Вращение образца
• Электронный игольчатый натекатель
• Вакуумметр с термопарным датчиком
• Не требует охлаждения
• Точная регулировка давления
• Точное и воспроизводимое нанесение покрытий
• Полная адаптация к широкому спектру образцов
• Воспроизводимая толщина осаждаемых пленок
• Журнал последних 300 выполненных напылений
• Отображение графиков давления и толщины
• Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

• Испарительная головка для углеродного стержня
• Источник питания с высоким током для осаждения углеродным стержнем
• Кварцевый датчик
• Планетарное вращение образца
• Запасная стеклянная вакуумная камера
• Мишени для напыления
• Углеродная нить
• Уплотнительные прокладки