- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CAB
product-card
Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Данная серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Все модели насосов EBT имеют прочную и надежную механическую конструкцию керамического подшипника, не загрязняя откачиваемую среду, обеспечивают безотказную работу для создания вакуума в производстве полупроводников, фотогальванических элементов и нанесении тонких пленок.
Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и идеальны для мобильных применений. Данные насосы обладают высокими скоростями откачки и высоким коэффициентом сжатия по легким газам, что делает их идеальными для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитического оборудования.
Особенности и преимущества
- стойкость к прорыву атмосферы;
- монтаж в любом положении в пространстве;
- компактность;
- низкий уровень вибрации;
- водяное или воздушное охлаждение;
- способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
- продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
- защитный экран входит в комплект поставки;
- коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.
Применение
- установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
- установки имитации космического пространства;
- передвижные вакуумные посты и течеискатели;
- установки для осаждения распылением;
- ионные источники и электронно-лучевые испарители;
- газовая эпитаксия;
- газовая хроматография;
- производство полупроводников и микроэлектроники;
- биотехнологии.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁸
- Входной патрубок
- CF200
- Выходной патрубок
- CF200
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Масса, кг
- 30
- Производитель
- Ebara
- Серия
- EBT
- Страна
- Япония
- Длина, мм
- 280
- Высота, мм
- 319
- Ширина, мм
- 272
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 280×272×319
- Время выхода на режим, мин
- 5.5
Товары из этой же серии
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Серия: QC
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Когтевые
- Производительность, м³/ч: 400.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Частота вращения, об/мин: 2850
- Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
- Уровень шума, дБ(А): 81
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 15
- Частота вращения, об/мин: 1450
В корзину
1
- Серия: EMVB
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3600 × 3350 × 3300
В корзину
1
- Масса, кг: 250
- Производитель: Labtone
- Серия: RV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 750 × 550 × 690
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: BB
- Длина, мм: 250
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 6
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: FC
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CRO
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: MB
- Длина, мм: 250
- Страна: Китай
В корзину
1
- Серия: EMVG
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 19400 × 6800 × 5600
В корзину
1
Вы смотрели
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 260
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
В корзину
1
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.3
- Масса, кг: 184
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVI
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1165 × 640 × 1320
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 5
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 0,63 (6,4 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ФЕНИКС
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: IMVI
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 85
- Избыточное давление, мбар: 240
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.7
- Разрежение, мбар: 210
В корзину
1
- Мощность, кВт: 200
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: MT
- Страна: Китай
- Уровень шума, дБ: 70
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 315
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 18000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
