Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления Vac Coat DSCT-T

Настольная комбинированная установка DSCT-T объединяет в одном приборе три сменных узла: магнетронный распылитель, испаритель углерода и термический испаритель. Система предназначена для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и нанесения широкого спектра материалов (золото, платина/палладий, серебро, хром, вольфрам, иридий и др.). Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом обеспечивает формирование равномерных мелкозернистых пленок для методов высокого разрешения (FE-SEM, EDS/WDS, ПЭМ, EBSD).

Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом, импульсным источником питания постоянного тока для напыления и сильноточными источниками для осаждения углерода и термического испарения. Термическая головка также может использоваться для очистки диафрагм ПЭМ и СЭМ. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах.

Преимущества

• Импульсный источник питания постоянного тока для напыления мощностью 80 Вт
• Испарительная головка для углеродной нити
• Испарительная головка для углеродного стержня
• Головка термического испарения
• Сильноточный источник питания постоянного тока для углеродной нити мощностью 500 Вт
• Кварцевый контроллер толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
• Широкодиапазонный вакуумметр (Leybold)
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Электрически управляемая заслонка
• Быстросменные столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
• Двухлетняя гарантия
• Соответствие стандартам CE
• Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Повторяемый программируемый процесс нанесения в автоматическом режиме
• Импульсный или непрерывный (flash) режим осаждения углеродной нитью
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Запись и построение графиков параметров нанесения
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов

Дополнительные опции

• Испарительные головки для углеродной нити или стержня
• Головка термического испарения
• Сильноточный источник питания
• Датчик кварцевого контроллера толщины
• Планетарное вращение образца
• Запасная стеклянная камера
• Мишени для напыления
• Углеродная нить или углеродный стержень
• Уплотнительные прокладки
• Испарители для термического испарения (лодочки, корзины)