Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления Vac Coat DSCT

Настольная установка DSCT представляет собой комбинированную систему для магнетронного напыления и напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити с двумя сменными узлами, предназначенную для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Высоковакуумная система (турбомолекулярный насос 90 л/с) обеспечивает формирование равномерных мелкозернистых пленок, пригодных для методов высокого разрешения, включая автоэмиссионную СЭМ (FE-SEM), энергодисперсионную (EDS) и волнодисперсионную (WDS) спектроскопию, просвечивающую электронную микроскопию (ПЭМ) и дифракцию обратно рассеянных электронов (EBSD).

Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом, импульсным источником питания постоянного тока мощностью 80 Вт для напыления и высокотоковым источником для осаждения углерода. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях с возможностью выгрузки на ПК через USB-порт.

Преимущества

• Испарительная головка для углеродной нити
• Источник питания постоянного тока для углеродной нити мощностью 500 Вт
• Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Сменные столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
• Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление напылением и напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Повторяемый программируемый процесс нанесения покрытий в автоматическом режиме
• Импульсный или непрерывный режим осаждения углеродной нити
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Запись и построение графиков параметров нанесения
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
• Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

• Испарительная головка для углеродного стержня
• Мощный источник питания для углеродного стержня
• Кварцевый датчик
• Планетарное вращение образца
• Запасная стеклянная камера
• Мишени для напыления
• Углеродная нить
• Уплотнительные прокладки