- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Установки вакуумного напыления
- Вакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DSR1
Вакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DSR1
product-card
Настольная магнетронная напылительная установка DSR1 — это компактная система для нанесения тонких пленок из благородных металлов (золота, палладия, платины и их сплавов) на непроводящие или слабопроводящие образцы при помощи магнетронной распылительной системы. Устройство обеспечивает быстрое формирование равномерных пленок с мелкодисперсной структурой, что делает их пригодными для анализа с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ).
Система с полностью автоматизированным управлением отличается высокой производительностью и повторяемостью результатов. DSR1 оснащена импульсным источником питания постоянного тока мощностью 80 Вт, имеет эргономичный дизайн и малый занимаемый объем. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным ПО, которое позволяет отслеживать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков.
Преимущества
- Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление
- Низковольтное напыление
- Высокое разрешение формирования тонких пленок
- Рабочая камера из боросиликатного стекла диаметром 170 мм
- Импульсный источник питания с регулировкой тока от 0 до 100 мА
- Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм
- Автоматический клапан напуска воздуха
- Наклон образца с возможностью вращения
- Планетарное вращение образца (опционально)
- Вакуумметр с термопарным датчиком
- Простота эксплуатации
- Не требует охлаждения
- Точная регулировка давления
- Точное и воспроизводимое нанесение покрытий
- Полная адаптация к широкому спектру образцов
- Воспроизводимая толщина осаждаемых пленок
- Удобная загрузка и выгрузка образцов
- Сохранение последних 300 выполненных напылений
- Отображение графиков давления и толщины
- Опция плазменной очистки
Дополнительные опции
- Кварцевые датчики
- Планетарный поворотный столик для образцов
- Запасная стеклянная камера
- Мишень для распыления
- Уплотнительные прокладки
- Производитель
- Vac Coat
- Страна
- Китай
- Электропитание
- 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Предельное давление, Торр
- < 3×10⁻²
- Материал камеры
- Боросиликатное стекло (Pyrex)
- Контроль температуры
- Автоматический (защита магнитов)
- Высота камеры, мм
- 140
- Габариты (ШхГхВ), мм
- 480х370х420
- Тип вакуума
- Форвакуум
- Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч
- 6
- Тип напыления
- PVD
- Метод нанесения
- Магнетронное напыление
- Диаметр камеры, мм
- 170
- Количество мишеней
- 1
- Размер мишени, дюйм
- 2
- Регулировка давления
- Электронный натекатель для аргона
- Точность измерения толщины, нм
- 1
- Масса, кг
- 30
Товары из этой же серии
Не забудьте купить
Вы смотрели
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?