Вакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DSR1

Настольная магнетронная напылительная установка DSR1 — это компактная система для нанесения тонких пленок из благородных металлов (золота, палладия, платины и их сплавов) на непроводящие или слабопроводящие образцы при помощи магнетронной распылительной системы. Устройство обеспечивает быстрое формирование равномерных пленок с мелкодисперсной структурой, что делает их пригодными для анализа с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ).

Система с полностью автоматизированным управлением отличается высокой производительностью и повторяемостью результатов. DSR1 оснащена импульсным источником питания постоянного тока мощностью 80 Вт, имеет эргономичный дизайн и малый занимаемый объем. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным ПО, которое позволяет отслеживать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков.

Преимущества

• Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление
• Низковольтное напыление
• Высокое разрешение формирования тонких пленок
• Рабочая камера из боросиликатного стекла диаметром 170 мм
• Импульсный источник питания с регулировкой тока от 0 до 100 мА
• Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Наклон образца с возможностью вращения
• Планетарное вращение образца (опционально)
• Вакуумметр с термопарным датчиком
• Простота эксплуатации
• Не требует охлаждения
• Точная регулировка давления
• Точное и воспроизводимое нанесение покрытий
• Полная адаптация к широкому спектру образцов
• Воспроизводимая толщина осаждаемых пленок
• Удобная загрузка и выгрузка образцов
• Сохранение последних 300 выполненных напылений
• Отображение графиков давления и толщины
• Опция плазменной очистки

Дополнительные опции

• Кварцевые датчики
• Планетарный поворотный столик для образцов
• Запасная стеклянная камера
• Мишень для распыления
• Уплотнительные прокладки