Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-300

Настольная установка магнетронного напыления DST1-300 предназначена для нанесения покрытий из полупроводников, диэлектриков и металлов (как окисляющихся, так и неокисляющихся). Система обеспечивает быстрое формирование равномерных мелкозернистых пленок. Увеличенная камера с водоохлаждаемым катодом под магнетроны диаметром 2, 3 или 4 дюйма позволяет наносить покрытия на крупные образцы диаметром до 15 см или на несколько мелких образцов в этой же зоне. Неограниченное время напыления делает установку пригодной для нанесения толстопленочных покрытий.Вакуумная система на основе турбомолекулярного насоса (90 л/с) и форвакуумного насоса обеспечивает чистый вакуум без масляного загрязнения. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с интуитивно понятным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.

Преимущества

• Широкодиапазонный вакуумметр
• Источник питания постоянного тока мощностью 160 или 600 Вт
• Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
• Два масс-расходомера (MFC) для контроля газового потока
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Легкосменяемые столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Контроль скорости напыления для достижения более равномерного покрытия
• Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Запись и построение графиков параметров напыления
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
• Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

• Напряжение смещения подложки
• РЧ-генератор и блок автоматического согласования
• Нагреватель подложки до 500 °C
• Кварцевый датчик
• Планетарный поворотный столик для образцов
• Запасная стеклянная камера
• Мишени для распыления
• Уплотнительные прокладки