Главная
Каталог
Лабораторное и аналитическое оборудование
Установки вакуумного напыления
Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-300

Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-300

product-card

Электропитание 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
Масса, кг 50
Предельное давление, Торр <8×10⁻⁶
Материал камеры Боросиликатное стекло (Pyrex)
Контроль температуры Автоматический (защита магнитов)
Высота камеры, мм 140
Габариты (ШхГхВ), мм 500х370х450
Тип вакуума Высокий вакуум
Производительность турбомолекулярного насоса, л/с 90

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Настольная установка магнетронного напыления DST1-300 предназначена для нанесения покрытий из полупроводников, диэлектриков и металлов (как окисляющихся, так и неокисляющихся). Система обеспечивает быстрое формирование равномерных мелкозернистых пленок. Увеличенная камера с водоохлаждаемым катодом под магнетроны диаметром 2, 3 или 4 дюйма позволяет наносить покрытия на крупные образцы диаметром до 15 см или на несколько мелких образцов в этой же зоне. Неограниченное время напыления делает установку пригодной для нанесения толстопленочных покрытий.Вакуумная система на основе турбомолекулярного насоса (90 л/с) и форвакуумного насоса обеспечивает чистый вакуум без масляного загрязнения. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с интуитивно понятным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.

Преимущества

Широкодиапазонный вакуумметр
Источник питания постоянного тока мощностью 160 или 600 Вт
Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
Два масс-расходомера (MFC) для контроля газового потока
Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
Легкосменяемые столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
Контроль скорости напыления для достижения более равномерного покрытия
Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
Запись и построение графиков параметров напыления
Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

Напряжение смещения подложки
РЧ-генератор и блок автоматического согласования
Нагреватель подложки до 500 °C
Кварцевый датчик
Планетарный поворотный столик для образцов
Запасная стеклянная камера
Мишени для распыления
Уплотнительные прокладки

Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А

Масса, кг: 50

Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶

Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)

Контроль температуры: Автоматический (защита магнитов)

Высота камеры, мм: 140

Габариты (ШхГхВ), мм: 500х370х450

Тип вакуума: Высокий вакуум

Производительность турбомолекулярного насоса, л/с: 90

Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч: 6

Тип напыления: PVD

Метод нанесения: Магнетронное напыление

Диаметр камеры, мм: 170

Количество мишеней: 1

Размер мишени, дюйм: 2

Регулировка давления: Электронный натекатель для аргона

Точность измерения толщины, нм: 1

Валерий Соколюк

Компания Технотрейд

Компания Технотрейд выражает благодарность коллективу ГК ЭРСТВАК за успешное сотрудничество в сфере поставок компрессорного оборудования.

Поставляемые промышленные вихревые воздуходувки ERSTEVAK серий EVH и EVL соответствуют заявленным техническим характеристикам. Так же они зарекомендовали себя как долговечное, неприхотливое и легкое в обслуживании оборудование. Воздуходувки легко интегрируются в различные системы и не требуют постоянного сервисного обслуживания. Отдельную благодарность хотелось бы выразить инженерам и отделу логистики за качественный подбор оборудования и оперативную доставку.

Это из официального письма, а теперь неофициально.)) Спасибо ЭРСТВАК!))))

Дмитрий

ОАО «КЭМЗ»

От лица ОАО «КЭМЗ» хочу выразить благодарность компании Эрствак. В прошлом году приобрели универсальную вакуумную печь закалки в масло. Фотографии печи прикладываю к отзыву. Сотрудники компании осуществили поставку, шефмонтаж, пусконаладку, обучение персонала и ввод в эксплуатацию.

Отдельно хочется поблагодарить инженера Эрнеста Микитюка за оперативное реагирование на запросы консультаций и технической поддержки!

В настоящее время печь активно эксплуатируются на предприятии, показывая себя какоборудование, отвечающее современным требованиям и нормам, удобное и простое в обслуживании.

Сложились хорошие отношения со специалистами компании. Планируем и дальше сотрудничать.

Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Алекс Галиев

Когда выбирал поставщика промышленного оборудования, для меня было главное, чтобы это был не просто поставщик, а и делал всё под ключ. И помимо этого, чтобы компания оказывала техническую поддержку. Вот таким образом мы и остановились на Эрствак. Они смогли предложить комплексную программу нашего с ними сотрудничества и предложили хорошую стоимость за свои услуги и оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: