- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Установки вакуумного напыления
- Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-300
Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-300
product-card
Настольная установка магнетронного напыления DST1-300 предназначена для нанесения покрытий из полупроводников, диэлектриков и металлов (как окисляющихся, так и неокисляющихся). Система обеспечивает быстрое формирование равномерных мелкозернистых пленок. Увеличенная камера с водоохлаждаемым катодом под магнетроны диаметром 2, 3 или 4 дюйма позволяет наносить покрытия на крупные образцы диаметром до 15 см или на несколько мелких образцов в этой же зоне. Неограниченное время напыления делает установку пригодной для нанесения толстопленочных покрытий.
Вакуумная система на основе турбомолекулярного насоса (90 л/с) и форвакуумного насоса обеспечивает чистый вакуум без масляного загрязнения. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с интуитивно понятным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.
Преимущества
- Широкодиапазонный вакуумметр
- Источник питания постоянного тока мощностью 160 или 600 Вт
- Контроль толщины покрытия кварцевым датчиком с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
- Два масс-расходомера (MFC) для контроля газового потока
- Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
- Легкосменяемые столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
- Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
- Контроль скорости напыления для достижения более равномерного покрытия
- Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
- Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
- Запись и построение графиков параметров напыления
- Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
- Двухлетняя гарантия
Дополнительные опции
- Напряжение смещения подложки
- РЧ-генератор и блок автоматического согласования
- Нагреватель подложки до 500 °C
- Кварцевый датчик
- Планетарный поворотный столик для образцов
- Запасная стеклянная камера
- Мишени для распыления
- Уплотнительные прокладки
- Производитель
- Vac Coat
- Страна
- Китай
- Электропитание
- 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Предельное давление, Торр
- <8×10⁻⁶
- Материал камеры
- Боросиликатное стекло (Pyrex)
- Контроль температуры
- Автоматический (защита магнитов)
- Высота камеры, мм
- 140
- Габариты (ШхГхВ), мм
- 500х370х450
- Тип вакуума
- Высокий вакуум
- Производительность турбомолекулярного насоса, л/с
- 90
- Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч
- 6
- Тип напыления
- PVD
- Метод нанесения
- Магнетронное напыление
- Диаметр камеры, мм
- 170
- Количество мишеней
- 1
- Размер мишени, дюйм
- 2
- Регулировка давления
- Электронный натекатель для аргона
- Точность измерения толщины, нм
- 1
- Масса, кг
- 50
Товары из этой же серии
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 30
- Предельное давление, Торр: < 3×10⁻²
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 24
- Предельное давление, Торр: < 3×10⁻²
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 36
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 48
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 42
- Предельное давление, Торр: < 5×10⁻²
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 42
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 42
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220–240 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 30
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 60
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 16/25 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 160
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 16/25 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
Не забудьте купить
- Серия: NOVA
- Страна: Российская Федерация
- Присоединительный размер: DN150
- Максимальное рабочее давление, бар: 10
- Габариты (ДхШхВ), мм: 1288 × 706
- Номинальная пропускная способность, м³/мин: 95
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Режим работы: Универсальная
- Серия: EVH
- Мощность электродвигателя, кВт: 3.3
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVH 46/50
В корзину
1
- Серия: E5000
- Страна: Китай
- Производитель: Kewell
- Мощность, кВт: 6.6
- Ток, А: 150
- Версия: Профессиональная версия
В корзину
1
- Серия: TTT
- Страна: Российская Федерация
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
В корзину
1
- Тип: retsirkulyatsionnoe-okhlazhdenie
- Серия: THERMIA
- Страна: Российская Федерация
- Материал корпуса: SPCC
- Класс защиты: IP20
- Габаритные размеры, мм: 450х550х1150
В корзину
1
- Серия: LW
- Страна: Российская Федерация
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Серия: ALMA
- Страна: Российская Федерация
- Конструкция: две колонны
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Режим работы: Нагнетание
- Серия: ERB
- Мощность электродвигателя, кВт: 280
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Воздуходувка РУТС ERSTVAK ERB-290
В корзину
1
- Серия: LAGUNA EW
- Страна: Российская Федерация
- Минимальная производительность, м³/ч: 120
- Минимальный напор, м: 41
- Максимальный напор, м: 61
- Тип уплотнения вала: Сальниковое
В корзину
1
- Серия: MBV
- Страна: Китай
- Материал корпуса: Нержавеющая сталь 316
- Производитель: King Lai
- Фланцевое соединение: KF40
- Размер трубы: 1-1/2''
В корзину
1
Вы смотрели
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 42
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
- Страна: Китай
- Производитель: Vac Coat
- Масса, кг: 42
- Предельное давление, Торр: <8×10⁻⁶
- Электропитание: 220–240 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Материал камеры: Боросиликатное стекло (Pyrex)
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
