- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Установки вакуумного напыления
- Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-170
Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-170
product-card
Настольная установка магнетронного напыления DST1-170 — это компактная система для нанесения покрытий из металлов (как окисляющихся, так и неокисляющихся). Установка обеспечивает быстрое формирование равномерных мелкозернистых пленок и предназначена для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). DST1-170 позволяет наносить широкий спектр материалов, включая золото, платину, палладий, серебро, хром, вольфрам и иридий. Высоковакуумная система (турбомолекулярный насос 90 л/с) гарантирует чистый вакуум без масляного загрязнения, что обеспечивает высокое качество пленок для методов высокого разрешения (FE-SEM, EDS/WDS, ПЭМ, EBSD).
Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом и импульсным источником питания постоянного тока мощностью 80 Вт. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.
Преимущества
- Кварцевый датчик контроля толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
- Один 2-дюймовый магнетронный катод
- Автоматический клапан напуска воздуха
- Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
- Электрически управляемая заслонка
- Быстросменные столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
- Двухлетняя гарантия
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
- Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
- Контроль скорости напыления для достижения более мелкозернистой структуры
- Полуавтоматический или полностью автоматический процесс напыления (опционально)
- Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
- Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
- Запись и построение графиков параметров напыления
- Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
Дополнительные опции
- Датчик кварцевого контроллера толщины
- Планетарный столик для вращения образца
- Запасная стеклянная камера
- Мишени для напыления
- Уплотнительные прокладки
- Производитель
- Vac Coat
- Страна
- Китай
- Электропитание
- 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Предельное давление, Торр
- <8×10⁻⁶
- Материал камеры
- Боросиликатное стекло (Pyrex)
- Контроль температуры
- Автоматический (защита магнитов)
- Высота камеры, мм
- 140
- Габариты (ШхГхВ), мм
- 500х370х450
- Тип вакуума
- Высокий вакуум
- Производительность турбомолекулярного насоса, л/с
- 60
- Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч
- 6
- Тип напыления
- PVD
- Метод нанесения
- Магнетронное напыление
- Диаметр камеры, мм
- 170
- Количество мишеней
- 1
- Размер мишени, дюйм
- 2
- Регулировка давления
- Электронный натекатель для аргона
- Точность измерения толщины, нм
- 1
- Масса, кг
- 36
Товары из этой же серии
Не забудьте купить
Вы смотрели
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?