Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления Vac Coat DST1-170

Настольная установка магнетронного напыления DST1-170 — это компактная система для нанесения покрытий из металлов (как окисляющихся, так и неокисляющихся). Установка обеспечивает быстрое формирование равномерных мелкозернистых пленок и предназначена для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). DST1-170 позволяет наносить широкий спектр материалов, включая золото, платину, палладий, серебро, хром, вольфрам и иридий. Высоковакуумная система (турбомолекулярный насос 90 л/с) гарантирует чистый вакуум без масляного загрязнения, что обеспечивает высокое качество пленок для методов высокого разрешения (FE-SEM, EDS/WDS, ПЭМ, EBSD).Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом и импульсным источником питания постоянного тока мощностью 80 Вт. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.

Преимущества

• Кварцевый датчик контроля толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
• Один 2-дюймовый магнетронный катод
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Электрически управляемая заслонка
• Быстросменные столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
• Двухлетняя гарантия
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Контроль скорости напыления для достижения более мелкозернистой структуры
• Полуавтоматический или полностью автоматический процесс напыления (опционально)
• Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Запись и построение графиков параметров напыления
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов

Дополнительные опции

• Датчик кварцевого контроллера толщины
• Планетарный столик для вращения образца
• Запасная стеклянная камера
• Мишени для напыления
• Уплотнительные прокладки