Высоковакуумная настольная установка термического испарения для работы в перчаточных боксах CYKY CY-EVZ180-I-H-SS

Высоковакуумная термическая напылительная установка CYKY CY-EVZ180-I-H-SS широко применяется для стабильного испарения металлов и органических материалов, а также для формирования равномерных плёнок в процессах термического напыления. Модель представляет собой компактную высоковакуумную установку с диапазоном температур испарения от 200 °C до 1800 °C. В качестве источника испарения используется корзина из вольфрамовой проволоки, поверх которой установлен высокочистый корундовый (сапфировый) тигель; максимальная рабочая температура источника составляет 1700 °C, а контроль температуры осуществляется термопарой типа B. Верхняя крышка оснащена вращающимся столиком для образцов, что позволяет эффективно повышать равномерность формирования плёнки.
 

Столик образцов имеет диаметр 70 мм и обеспечивает регулируемую скорость вращения в диапазоне от 1 до 20 об/мин, а расстояние от столика до источника испарения может плавно изменяться в пределах 60–100 мм. Прибор имеет высокоточную систему контроля температуры и использует циркуляционный метод нагрева. Установка выполнена с высоковакуумной камерой из нержавеющей стали, которая оснащена кварцевым смотровым окном диаметром 80 мм и откидной верхней крышкой для удобного доступа внутрь. На камере предусмотрен штуцер откачки KF40. Вакуумная система включает высокоточный молекулярный насос OSAKA производительностью 60 л/с, выпускной штуцер KF16 и пластинчато-роторный форвакуумный насос, что в совокупности обеспечивает высокий уровень вакуума, способствующий значительному повышению эффективности и качества процесса напыления.