Высоковакуумная настольная напылительная установка термического испарения с двумя испарителями CYKY CY-EVZ180-II-HH-SS

Напылительная установка CYKY CY-EVZ180-II-HH-SS широко применяется для изготовления электродов и производства органических светодиодов (OLED). Оборудование оснащено двумя независимыми источниками испарения, каждый из которых имеет отдельное питание и может включаться поочередно или одновременно. Каждый источник испарения рассчитан на напряжение 10 В и обеспечивает плавную регулировку тока напыления в диапазоне от 0 до 100 А, а максимальная температура испарения может достигать 1800 °C, что позволяет осуществлять напыление различных распространённых металлов и некоторых неметаллов.
 

Вакуумная камера выполнена из нержавеющей стали, что обеспечивает вакуумную среду, необходимую для напыления большинства материалов. Два источника испарения расположены симметрично, и каждый из них оснащён отдельной заслонкой, что гарантирует отсутствие загрязнений в процессе напыления. Столик образцов изготовлен из нержавеющей стали и имеет диаметр 60 мм. Расстояние между образцом и источником испарения плавно регулируется в пределах от 60 до 100 мм. Управление параметрами процесса осуществляется через 7-дюймовый цветной сенсорный экран. Для безопасной эксплуатации предусмотрена функция автоматического отключения тока испарения при возникновении перегрузки по току или при падении вакуума ниже допустимого уровня. Выпускной клапан вакуумной системы выполнен с присоединительным размером KF40.