Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления с тремя мишенями Vac Coat DST2-TG

Настольная установка DST2-TG представляет собой высоковакуумную систему с несколькими мишенями, объединяющую в одном компактном корпусе термический испаритель и установку магнетронного напыления, предназначенную для использования с перчаточным боксом. Система имеет удалённое управление через Wi-Fi соединение с сенсорного экрана или ПК. Установка позволяет легко переключаться между режимами испарения и напыления для получения многослойных покрытий.
 

Наличие перчаточного бокса обеспечивает защищённую среду для чувствительных материалов, предотвращая контакт с воздухом или влагой, а также безопасную и чистую обработку подложек в атмосфере инертного газа до и после осаждения. Система оснащена камерой большого объема (диаметром 300 мм) и двумя водоохлаждаемыми катодами диаметром 2 дюйма, что делает её пригодной для длительного напыления. Установка представляет собой единую платформу для магнетронного напыления, осаждения углеродной нитью и термического испарения металлов. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах.

Преимущества

• Крупногабаритная камера (диаметр 300 мм, высота 200–250 мм) для осаждения на крупные образцы
• Электрический подъёмный механизм для вертикального перемещения вакуумной камеры
• Два водоохлаждаемых катода для напыления диаметром 2 дюйма
• Простой и быстрый монтаж мишеней (держатель не требуется)
• Улучшенная теплопередача благодаря мишеням с подложкой
• Два кварцевых датчика (точность 1 нм) для измерения толщины в реальном времени
• Фланцы KF40 для монтажа на перчаточный бокс (источники питания DC, РЧ и сильноточный, шланг вакуумного насоса, водяное охлаждение, подвод аргона/реактивных газов, электрические соединения)
• Подача газа через масс-расходомеры (MFC)
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Программное управление вертикальным перемещением стеклянной вакуумной камеры
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Управление процессом осаждения с ПК через Wi-Fi соединение
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов
• Выбор мишени для многослойных тонких пленок
• Автоматизированный выбор катода
•  

Дополнительные опции

• Датчик кварцевого контроллера толщины
• Запасная стеклянная камера
• Мишени для напыления
• Уплотнительные прокладки
•