Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления с тремя мишенями Vac Coat DST2-TG

Настольная комбинированная установка DSCT-T объединяет в одном приборе три сменных узла: магнетронный распылитель, испаритель углерода и термический испаритель. Система предназначена для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и нанесения широкого спектра материалов: золота, платины/палладия, серебра, хрома, вольфрама, иридия и др. Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом обеспечивает формирование равномерных мелкозернистых пленок для методов высокого разрешения: FE-SEM, EDS/WDS, ПЭМ, EBSD.

Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом, импульсным источником питания постоянного тока для напыления и сильноточными источниками для осаждения углерода и термического испарения. Термическая головка также может использоваться для очистки диафрагм ПЭМ и СЭМ. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах.

Преимущества

• Импульсный источник питания постоянного тока для напыления мощностью 80 Вт;
• Испарительная головка для углеродной нити;
• Испарительная головка для углеродного стержня;
• Головка термического испарения;
• Сильноточный источник питания постоянного тока для углеродной нити мощностью 500 Вт;
• Кварцевый контроллер толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å;
• Широкодиапазонный вакуумметр Leybold;
• Автоматический клапан напуска воздуха;
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца;
• Электрически управляемая заслонка;
• Быстросменные столики для образцов, вращающийся столик входит в стандартную комплектацию;
• Двухлетняя гарантия;
• Соответствие стандартам CE;
• Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление напылением покрытия с помощью испарения углеродной нити;
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных;
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети;
• Повторяемый программируемый процесс нанесения в автоматическом режиме;
• Импульсный или непрерывный flash-режим осаждения углеродной нитью;
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине;
• Запись и построение графиков параметров нанесения;
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов.

Дополнительные опции

• Испарительные головки для углеродной нити или стержня;
• Головка термического испарения;
• Сильноточный источник питания;
• Датчик кварцевого контроллера толщины;
• Планетарное вращение образца;
• Запасная стеклянная камера;
• Мишени для напыления;
• Углеродная нить или углеродный стержень;
• Уплотнительные прокладки;
• Испарители для термического испарения: лодочки, корзины.