- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Установки вакуумного напыления
- Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления с тремя мишенями Vac Coat DST2-TG
Высоковакуумная настольная установка комбинированного напыления с тремя мишенями Vac Coat DST2-TG
Настольная комбинированная установка DSCT-T объединяет в одном приборе три сменных узла: магнетронный распылитель, испаритель углерода и термический испаритель. Система предназначена для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и нанесения широкого спектра материалов: золота, платины/палладия, серебра, хрома, вольфрама, иридия и др. Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом обеспечивает формирование равномерных мелкозернистых пленок для методов высокого разрешения: FE-SEM, EDS/WDS, ПЭМ, EBSD.
Установка оснащена 2-дюймовым магнетронным катодом, импульсным источником питания постоянного тока для напыления и сильноточными источниками для осаждения углерода и термического испарения. Термическая головка также может использоваться для очистки диафрагм ПЭМ и СЭМ. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах.
Преимущества
- Импульсный источник питания постоянного тока для напыления мощностью 80 Вт;
- Испарительная головка для углеродной нити;
- Испарительная головка для углеродного стержня;
- Головка термического испарения;
- Сильноточный источник питания постоянного тока для углеродной нити мощностью 500 Вт;
- Кварцевый контроллер толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å;
- Широкодиапазонный вакуумметр Leybold;
- Автоматический клапан напуска воздуха;
- Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца;
- Электрически управляемая заслонка;
- Быстросменные столики для образцов, вращающийся столик входит в стандартную комплектацию;
- Двухлетняя гарантия;
- Соответствие стандартам CE;
- Полуавтоматическое или полностью автоматическое управление напылением покрытия с помощью испарения углеродной нити;
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных;
- Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети;
- Повторяемый программируемый процесс нанесения в автоматическом режиме;
- Импульсный или непрерывный flash-режим осаждения углеродной нитью;
- Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине;
- Запись и построение графиков параметров нанесения;
- Хранение информации для повторного воспроизведения процессов.
Дополнительные опции
- Испарительные головки для углеродной нити или стержня;
- Головка термического испарения;
- Сильноточный источник питания;
- Датчик кварцевого контроллера толщины;
- Планетарное вращение образца;
- Запасная стеклянная камера;
- Мишени для напыления;
- Углеродная нить или углеродный стержень;
- Уплотнительные прокладки;
- Испарители для термического испарения: лодочки, корзины.
- Электропитание
- 220/110 В, 50/60 Гц, 16/25 А
- Масса, кг
- 160
- Производитель
- Vac Coat
- Страна
- Китай
- Предельное давление, Торр
- <8×10⁻⁶
- Материал камеры
- Боросиликатное стекло (Pyrex)
- Контроль температуры
- Автоматический (защита магнитов)
- Высота камеры, мм
- 250
- Габариты (ШхГхВ), мм
- 600 × 800 × 770 (без стойки)
- Тип вакуума
- Высокий вакуум
- Производительность турбомолекулярного насоса, л/с
- 350
- Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч
- 6
- Тип напыления
- PVD
- Метод нанесения
- Магнетронное напыление и термическое испарение
- Диаметр камеры, мм
- 300
- Количество мишеней
- 2
- Размер мишени, дюйм
- 2
- Количество источников испарения
- 1
- Тип испарения
- Термический
- Регулировка давления
- Прецизионный масс-расходомер (MFC)
- Точность измерения толщины, нм
- 1