Высоковакуумная настольная напылительная установка с водяным охлаждением столика CYKY CY-EVZ195-II-HH-SS-SL

Настольная напылительная установка CYKY CY-EVZ195-II-HH-SS-SL оснащена двумя независимыми источниками испарения, каждый из которых работает при напряжении 10 В и представляет собой испаритель в виде корзины из вольфрамовой проволоки. Ток напыления плавно регулируется в диапазоне от 0 до 100 А, а максимальная температура испарения достигает 1800 °C, что позволяет осуществлять напыление различных распространённых металлов и некоторых неметаллов. Вакуумная камера выполнена из нержавеющей стали, что обеспечивает вакуумную среду, необходимую для напыления большинства материалов. В то же время оборудование имеет высокий корпус и конструкцию с водяным охлаждением столика образцов.
 

Столик образцов представляет собой верхний вращающийся столик из нержавеющей стали с водяным охлаждением, диаметром 100 мм и плавно регулируемой скоростью вращения от 1 до 20 об/мин. Такое конструктивное решение позволяет снизить тепловое излучение от источника испарения на образец, гарантирует отсутствие перегрева поверхности образца и поддерживает его при комнатной температуре, эффективно предотвращая повреждение образца под воздействием высоких температур при термическом испарении. Расстояние между образцом и источником испарения фиксировано и составляет 300 мм. Штуцер водяного охлаждения выполнен в виде быстроразъёмного соединения диаметром 6 мм, что требует подключения внешнего чиллера (охладителя воды). Управление параметрами процесса осуществляется через 7-дюймовый цветной сенсорный экран.
 

Для безопасной эксплуатации предусмотрена функция автоматического отключения тока испарения при перегрузке по току или при падении вакуума ниже допустимого уровня. Камера оснащена кварцевым смотровым окном с защитной заслонкой диаметром 80 мм. Выпускной клапан вакуумной системы выполнен с присоединительным размером KF25. Данная установка особенно подходит для нанесения покрытий на различные полимерные плёночные образцы.