Высоковакуумная настольная установка магнетронного напыления с тремя мишенями Vac Coat DST3

Настольная установка DST3 представляет собой высоковакуумную систему с несколькими мишенями, предназначенную для нанесения широкого спектра материалов. Установка оснащена камерой большого объема диаметром 300 мм и тремя водоохлаждаемыми катодами диаметром 2 дюйма, что делает её пригодной для длительного напыления. DST3 комплектуется источниками питания постоянного тока DC и радиочастотного тока РЧ. Это позволяет распылять полупроводники, диэлектрики и металлы, включая благородные и окисляющиеся материалы. Система оснащена автоматическим согласованным устройством, минимизирующим отражённую мощность при РЧ-напылении.

Установка выпускается в двух исполнениях: DST3-A с наклонными катодами, имеющими общую фокальную точку, и DST3-S с прямыми катодами. Исполнение DST3-A применяется для одновременного или независимого распыления с двух-трёх мишеней при формировании сплавов и многослойных покрытий. Исполнение DST3-S подходит для напыления на один крупный образец диаметром до 20 см или на несколько мелких образцов. Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, которое позволяет контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 напылениях.

Преимущества

• Три водоохлаждаемых наклонных магнетронных катода диаметром 2 дюйма для получения пленок сплавов и многослойных покрытий, DST3-A;
• Крупногабаритный держатель образцов 8 дюймов для DST3-S;
• Маска катода для равномерного осаждения на крупные подложки, DST3-S;
• Два стационарных и подвижных кварцевых датчика для измерения толщины в реальном времени с точностью до 1 нм;
• Подача газа через два масс-расходомера MFC;
• Автоматический клапан напуска воздуха;
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца для 3-дюймовых держателей;
• Неограниченное время осаждения без нарушения вакуума;
• Двухлетняя гарантия;
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных;
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети;
• Полуавтоматический или полностью автоматический процесс напыления, опционально;
• Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме;
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине;
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов;
• Выбор мишени для многослойных тонких пленок;
• Автоматизированный выбор катода;
• Программирование и контроль нагрева подложки через программное обеспечение.

Дополнительные опции

• Датчик кварцевого контроллера толщины;
• Запасная стеклянная камера;
• Мишени для напыления;
• Уплотнительные прокладки;
• Напряжение смещения на подложке 300 В, постоянный ток;
• Плазменный очиститель;
• Нагрев подложки до 500 °C.