- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50P
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50P
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50P — сухой многоступенчатый насос серии EV-S, предназначенный для чистой технологической откачки в процессах с умеренной газовой нагрузкой. Модель обеспечивает скорость откачки 300 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,55 кВт. Присоединения DN50 на входе и DN25 на выходе соответствуют компактному типоразмеру насоса.
Преимущества и особенности
Сухие рабочие ступени последовательно перемещают и сжимают газ без использования масла или жидкого уплотнения в насосной камере. Специальная геометрия роторов и система управления рассчитаны на низкое энергопотребление, а режим холостого хода позволяет уменьшать нагрузку на агрегат при паузах процесса.
- Безмасляная технология снижает риск обратного переноса масла в вакуумную камеру.
- Компактная компоновка упрощает интеграцию насоса в технологические установки с ограниченным свободным пространством.
- Режим холостого хода сокращает потребление энергии и вспомогательных ресурсов при сниженной нагрузке.
- Водяное охлаждение поддерживает рабочую температуру насосного блока.
- В линейке EV-S предусмотрены варианты с азотной продувкой и повышенной коррозионной стойкостью.
- Производительность серии не зависит от частоты питающей сети 50 или 60 Гц.
Применение
EBARA EV-S50P используется в загрузочных камерах, электронно-микроскопических системах, PVD, CVD, травлении, озолении и других процессах с легкой нагрузкой. Производительность 300 м³/ч позволяет использовать модель в камерах умеренного объема, где требуется сухая откачка без масляного загрязнения и не нужна производительность старших типоразмеров серии.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.05
- Мощность, кВт
- 0.55
- Входной патрубок
- NW50
- Выходной патрубок
- NW50
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 472×230×570
- Масса, кг
- 100
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Температура охлаждающей воды
- +5 — +30
- Напряжение, В
- 380
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: