Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S30N

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S30N — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для чистых и легких технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 198 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,01 мбар (абс.) и мощности 0,4 кВт. Сочетание сравнительно высокой скорости откачки для компактного типоразмера и низкой мощности обеспечивает энергоэффективную эксплуатацию в локальных вакуумных системах.

Преимущества и особенности

Сжатие газа выполняется последовательностью сухих рабочих ступеней без масла или рабочей жидкости в насосной камере. Геометрия роторов оптимизирована для снижения энергопотребления, а электронная система управления поддерживает рабочий режим и позволяет использовать холостой ход между активными стадиями технологического цикла.

• Безмасляная схема снижает риск загрязнения вакуумного объема и технологических поверхностей углеводородами.
• Многоступенчатая конструкция обеспечивает достижение остаточного давления 0,01 мбар без отдельного масляного форвакуумного насоса.
• Компактная компоновка упрощает размещение агрегата рядом с камерой или внутри технологического модуля.
• Режим холостого хода позволяет уменьшить энергопотребление при сниженной газовой нагрузке.
• Водяное охлаждение отводит тепло от рабочих узлов и стабилизирует температурный режим.
• Для серии предусмотрены варианты с повышенной коррозионной стойкостью и азотной продувкой.

Применение

EBARA EV-S30N используется в загрузочных камерах, SEM, PVD, CVD, процессах травления и озоления, а также в других чистых вакуумных системах. Скорость откачки 198 м³/ч при остаточном давлении 0,01 мбар позволяет использовать модель в компактных камерах, где требуется более глубокий форвакуум по сравнению с рядом других типоразмеров EV-S при сохранении низкого энергопотребления.