Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S200N

product-card

Тип Винтовые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 1200
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.005
Мощность, кВт 0.75
Количество ступеней Многоступенчатый
Входной патрубок DN100
Выходной патрубок DN40

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S200N — сухой многоступенчатый насос серии EV-S, предназначенный для чистых и легких технологических процессов с повышенной скоростью откачки. Модель обеспечивает скорость откачки 1200 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,75 кВт. Всасывающий патрубок DN100 и выход DN40 рассчитаны на высокий входной газовый поток.

Преимущества и особенности

Газ проходит через несколько сухих рабочих ступеней без контакта с маслом или жидкостью для уплотнения. Специальная геометрия роторов и электронное управление повышают эффективность сжатия, а режим холостого хода позволяет уменьшать потребление энергии при отсутствии полной технологической нагрузки.

Безмасляная рабочая камера подходит для процессов, чувствительных к загрязнению углеводородами.
Компактная компоновка серии позволяет размещать насос рядом с технологическим оборудованием при ограниченном пространстве.
Режим холостого хода уменьшает энергопотребление и расход вспомогательных сред между рабочими циклами.
Водяное охлаждение стабилизирует температуру агрегата при продолжительной работе.
Для серии предусмотрены коррозионно-стойкие варианты и модели с азотной продувкой для процессов, где эти функции необходимы.
Производительность не зависит от частоты питания 50 или 60 Гц.

Применение

EBARA EV-S200N используется в загрузочных камерах, SEM, процессах травления, CVD, PVD, озоления и других легких технологических операциях. Скорость откачки 1200 м³/ч делает модель подходящей для более крупных камер и коротких циклов вакуумирования по сравнению с младшими типоразмерами EV-S, при этом безмасляная схема сохраняет чистоту технологического газового тракта.

Тип: Винтовые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 1200

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005

Мощность, кВт: 0.75

Количество ступеней: Многоступенчатый

Входной патрубок: DN100

Выходной патрубок: DN40

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 170

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 672×275×631

Напряжение, В: 380

Серия: EV-S

Расход рабочей жидкости, л/мин: 2

Температура охлаждающей воды: +5 — +30

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1168

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1270

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

217

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: