- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S100N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S100N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S100N — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для чистых и легких технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 600 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,65 кВт. Вход DN80 и выход DN40 позволяют подключать насос к компактным производительным вакуумным линиям.
Преимущества и особенности
Серия EV-S использует сухую многоступенчатую схему с роторами специальной геометрии. Газ сжимается без применения масла или рабочей жидкости для герметизации насосной камеры. Система управления и режим холостого хода позволяют уменьшать потребление энергии и вспомогательных ресурсов, когда полная производительность не требуется.
- Безмасляный газовый тракт снижает риск загрязнения технологической камеры рабочей жидкостью.
- Оптимизированная конструкция роторов и привода рассчитана на низкое энергопотребление при компактных габаритах агрегата.
- Режим холостого хода позволяет снижать ресурсную нагрузку между активными этапами технологического цикла.
- Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает стабильный температурный режим.
- Для серии доступны исполнения с повышенной коррозионной стойкостью и варианты с продувкой азотом для соответствующих процессов.
- Насосная характеристика сохраняется при частоте питающей сети 50 и 60 Гц.
Применение
EBARA EV-S100N используется в загрузочных шлюзах, электронно-микроскопических установках, процессах травления, CVD, PVD, озоления и других легких вакуумных процессах. Производительность 600 м³/ч позволяет обслуживать камеры среднего объема, а мощность 0,65 кВт способствует снижению энергопотребления в системах, где также имеет значение место, занимаемое оборудованием.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.05
- Мощность, кВт
- 0.65
- Входной патрубок
- ISO80
- Выходной патрубок
- ISO80
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 532×260×570
- Масса, кг
- 120
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Температура охлаждающей воды
- +5 — +30
- Напряжение, В
- 380
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: