Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S100N

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S100N — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для чистых и легких технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 600 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,65 кВт. Вход DN80 и выход DN40 позволяют подключать насос к компактным производительным вакуумным линиям.

Преимущества и особенности

Серия EV-S использует сухую многоступенчатую схему с роторами специальной геометрии. Газ сжимается без применения масла или рабочей жидкости для герметизации насосной камеры. Система управления и режим холостого хода позволяют уменьшать потребление энергии и вспомогательных ресурсов, когда полная производительность не требуется.

• Безмасляный газовый тракт снижает риск загрязнения технологической камеры рабочей жидкостью.
• Оптимизированная конструкция роторов и привода рассчитана на низкое энергопотребление при компактных габаритах агрегата.
• Режим холостого хода позволяет снижать ресурсную нагрузку между активными этапами технологического цикла.
• Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает стабильный температурный режим.
• Для серии доступны исполнения с повышенной коррозионной стойкостью и варианты с продувкой азотом для соответствующих процессов.
• Насосная характеристика сохраняется при частоте питающей сети 50 и 60 Гц.

Применение

EBARA EV-S100N используется в загрузочных шлюзах, электронно-микроскопических установках, процессах травления, CVD, PVD, озоления и других легких вакуумных процессах. Производительность 600 м³/ч позволяет обслуживать камеры среднего объема, а мощность 0,65 кВт способствует снижению энергопотребления в системах, где также имеет значение место, занимаемое оборудованием.