Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S20P

product-card

Тип Винтовые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 100
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.05
Мощность, кВт 0.4
Входной патрубок DN50
Выходной патрубок DN25
Количество ступеней Многоступенчатый

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S20P — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для компактных чистых вакуумных систем. Модель обеспечивает скорость откачки 100 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,4 кВт. Вход DN50 и выход DN25 соответствуют небольшому типоразмеру и позволяют подключать насос к локальным технологическим камерам.

Преимущества и особенности

Газ последовательно проходит через сухие рабочие ступени, не соприкасаясь с маслом или другой жидкостью для уплотнения камеры. Специальная геометрия роторов снижает энергетические потери, а система управления может переводить насос в режим холостого хода при снижении технологической нагрузки.

Безмасляная рабочая камера обеспечивает чистый газовый тракт без источника масляного загрязнения со стороны насоса.
Компактная и сравнительно легкая конструкция серии предназначена для размещения в ограниченном пространстве оборудования.
Режим холостого хода уменьшает потребление энергии в паузах между активными этапами процесса.
Водяное охлаждение поддерживает стабильную температуру насосного блока.
Для серии доступны коррозионно-стойкие исполнения и варианты с продувкой азотом для соответствующих технологических сред.
Скорость откачки сохраняется при питании от сети 50 и 60 Гц.

Применение

EBARA EV-S20P используется в загрузочных шлюзах, электронно-микроскопических установках, процессах PVD, CVD, травления и озоления, а также в других чистых вакуумных операциях. Скорость 100 м³/ч и мощность 0,4 кВт делают модель подходящей для небольших камер и локальных участков, где не требуется высокая производительность старших насосов серии, но важны сухая откачка и компактность.

Тип: Винтовые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 100

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.05

Мощность, кВт: 0.4

Входной патрубок: DN50

Выходной патрубок: DN25

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 60

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 537×230×274

Напряжение, В: 380

Серия: EV-S

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1.5

Температура охлаждающей воды: +5 — +30

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1301

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

281

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: