- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG510-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG510-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG510-S обеспечивает непрерывный контроль давления в диапазоне среднего вакуума. Модель PSG510-S подходит для применения в качестве измерительного узла вакуумной установки: прибор отображает ход откачки, помогает установить момент достижения заданного давления, контролирует состояние рабочей камеры и формирует сигнал для системы управления.
Измерительный принцип
В основе INFICON PSG510-S лежит теплопроводностный метод Пирани. Чувствительный элемент поддерживается в нагретом состоянии и отдает тепло молекулам окружающего газа. При снижении или повышении давления меняется число молекул и теплопроводность газовой среды. Встроенная электроника обрабатывает изменение теплоотдачи и преобразует его в значение давления, обеспечивая непрерывные измерения в области среднего вакуума.
Исполнение прибора
Модель оснащена современным сенсором из нержавеющей стали. Прочный чувствительный элемент рассчитан на стабильную работу в промышленном вакуумном оборудовании и сохраняет необходимые эксплуатационные свойства при регулярных измерительных циклах. Компактный корпус PSG510-S удобен для монтажа в стесненных условиях — на вакуумной камере, технологической линии, трубопроводе или коллекторе.
Основные достоинства
- постоянный контроль давления при работе со средним вакуумом;
- компактность и удобство интеграции в различные установки;
- механически прочный сенсор из нержавеющей стали;
- варианты электрических и вакуумных подключений;
- наблюдение за стадиями предварительного вакуумирования;
- возможность передачи сигнала в систему автоматизации;
- использование в производственном оборудовании и сервисных системах.
Функции в составе установки
INFICON PSG510-S позволяет проверять корректность включения вакуумных насосов, контролировать интенсивность откачки и определять готовность камеры к последующим операциям. Изменения показаний помогают обнаруживать отклонения от нормального режима. Полученный сигнал может использоваться оператором или автоматикой для переключения клапанов, управления насосами и запуска следующих стадий технологического процесса.
Области использования
PSG510-S применяется в полупроводниковых и научно-исследовательских установках, вакуумных печах, металлургическом оборудовании, системах промышленного напыления и других технологических комплексах. Вакуумметр подходит для холодильной и автомобильной промышленности, испытательных стендов, сервисной диагностики и контроля состояния вакуумных систем.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Катод
- Вольфрам
- Время отклика, мс
- 80
- Принцип измерения
- По принципу теплопроводности Пирани
- Электрическое подключение
- Электронный соединитель FCC 68 / RJ45, 8 конт., вилка
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- DIN 1.3981/1.4305/1.4435
- Допустимое давление (абс.), бар
- 10, ограничение для инертных газов
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическое соотношение 1.286
- Выходное полное сопротивление, Ом
- 2х4.7
- Идентификация датчика, кОм
- 27.0, по отношению к общему выходу источника питания
- Кабель датчика
- Экранированный 8-жильный
- Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м
- 100
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Максимальное время переключения, мс
- 20
- Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар
- 5х10^-4 — 1000
- Повторяемость (воздух)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерения выходного сигнала, В
- +1.9 — +10.0
- Сигнал ошибки выходного сигнала, В
- 0 — +0.5 (разрушение катода)
- Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм
- 10, защита от коротких замыканий
- Настройка
- 1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума
- Контрольные точки
- 2
- Диапазон настройки
- 2х10^-3 — 500
- Контакт реле, В/А
- 30/0.5 плавающий
- Потребляемый ток, мА
- <500 (максимальный ток при включении)
- Пульсация, В (p-p)
- ≤1
- Ориентации на монтаже
- Любая
- Гистерезис
- На 10% выше нижнего порога
- Максимальное напряжение выходного сигнала, В
- 10.3
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 14
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная потребляемая мощность, Вт
- 1
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 60