- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG500
Вакуумметр Пирани INFICON PSG500
Вакуумметр Пирани INFICON PSG500 — компактный измерительный прибор для непрерывного контроля давления в области среднего вакуума. Модель PSG500 используется как базовый измерительный элемент вакуумных установок: она позволяет наблюдать за откачкой, фиксировать достижение рабочего давления, контролировать состояние камеры и передавать измерительный сигнал в систему управления оборудованием.
Принцип измерения
Работа INFICON PSG500 основана на теплопроводностном принципе Пирани. Теплоотдача нагретого чувствительного элемента зависит от количества окружающих его молекул газа. С изменением давления меняется теплопроводность газовой среды, а электронная система преобразует это изменение в измеренное значение. Такой метод эффективен в диапазоне среднего вакуума и обеспечивает непрерывное отслеживание процесса откачки.
Конструктивные особенности
В приборе применяется современный чувствительный элемент из нержавеющей стали. Сенсор сочетает механическую прочность, стабильность измерений и пригодность для эксплуатации в промышленном вакуумном оборудовании. Компактный корпус упрощает монтаж PSG500 в ограниченном пространстве — непосредственно на вакуумной камере, трубопроводе или измерительном коллекторе.
Преимущества
- постоянное измерение давления в области среднего вакуума;
- компактная конструкция для интеграции в серийные и специализированные установки;
- прочный чувствительный элемент из нержавеющей стали;
- выбор электрических подключений и вакуумных присоединений;
- контроль этапов предварительной откачки;
- возможность включения в автоматизированные вакуумные процессы;
- применение в стационарном оборудовании и сервисных измерительных системах.
Практическое назначение
INFICON PSG500 помогает контролировать включение и работу вакуумных насосов, оценивать скорость снижения давления, определять готовность камеры к следующему этапу процесса и своевременно выявлять отклонения от штатного режима. Показания прибора могут использоваться оператором либо системой автоматики для управления клапанами, насосами и последовательностью технологических операций.
Области применения
Модель PSG500 применяется в полупроводниковом оборудовании, научно-исследовательских установках, вакуумных печах, металлургических процессах, системах промышленного вакуумного напыления, холодильной и автомобильной промышленности. Вакуумметр также подходит для испытательных стендов, диагностических комплексов и оборудования для контроля вакуумных систем.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Катод
- Вольфрам
- Время отклика, мс
- 80
- Принцип измерения
- По принципу теплопроводности Пирани
- Электрическое подключение
- Электронный соединитель FCC 68 / RJ45, 8 конт., вилка
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- NiFe. DIN 1.4301/1.4305/1.4435
- Допустимое давление (абс.), бар
- 10, ограничение для инертных газов
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическое соотношение 1.286
- Выходное полное сопротивление, Ом
- 2х4.7
- Идентификация датчика, кОм
- 27.0, по отношению к общему выходу источника питания
- Кабель датчика
- Экранированный 8-жильный
- Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м
- 100
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар
- 5х10^-4 — 1000
- Повторяемость (воздух)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерения выходного сигнала, В
- +1.9 — +10.0
- Сигнал ошибки выходного сигнала, В
- 0 — +0.5 (разрушение катода)
- Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм
- 10, защита от коротких замыканий
- Настройка
- 1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума
- Контрольные точки
- Нет
- Потребляемый ток, мА
- <500 (максимальный ток при включении)
- Пульсация, В (p-p)
- ≤1
- Ориентации на монтаже
- Любая
- Максимальное напряжение выходного сигнала, В
- 10.3
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 14
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная потребляемая мощность, Вт
- 1
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 60