- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG550
Вакуумметр Пирани INFICON PSG550
Вакуумметр Пирани INFICON PSG550 служит для непрерывного контроля давления в области среднего вакуума. Компактная модель PSG550 встраивается в вакуумное оборудование и позволяет следить за процессом откачки, контролировать текущее состояние камеры, фиксировать достижение рабочего давления и передавать результат измерения в управляющую систему.
Принцип работы
INFICON PSG550 измеряет давление теплопроводностным методом Пирани. Нагретый чувствительный элемент взаимодействует с молекулами газа и теряет тепло с интенсивностью, зависящей от их концентрации. Изменение давления приводит к изменению теплопроводности газовой среды. Электронная часть прибора обрабатывает сигнал сенсора и переводит его в значение давления, что обеспечивает непрерывное наблюдение за вакуумированием.
Конструктивные особенности
Чувствительный элемент PSG550 выполнен из нержавеющей стали. Материал обеспечивает механическую прочность, стабильность и пригодность датчика для эксплуатации в составе промышленного оборудования. За счет компактного корпуса вакуумметр удобно устанавливать непосредственно на рабочей камере, трубопроводе или измерительном коллекторе даже при ограниченном пространстве.
Преимущества
- непрерывный мониторинг среднего вакуума;
- компактное исполнение для серийных и специализированных систем;
- прочный измерительный элемент из нержавеющей стали;
- выбор вариантов электрического подключения и вакуумного монтажа;
- контроль этапа предварительной откачки;
- интеграция в автоматизированные технологические комплексы;
- использование как в стационарных установках, так и при сервисных измерениях.
Практическое применение
Показания INFICON PSG550 помогают оценивать запуск и работу вакуумных насосов, контролировать темп откачки, определять готовность камеры к следующей технологической операции и замечать отклонения от штатного процесса. Сигнал прибора может использоваться системой автоматики для управления клапанами и насосами, а также для разрешения или блокировки отдельных этапов цикла.
Сферы использования
Модель PSG550 применяется в полупроводниковом производстве, исследовательском оборудовании, вакуумных печах, металлургических процессах и установках промышленного вакуумного напыления. Вакуумметр подходит для холодильной и автомобильной промышленности, испытательных комплексов, диагностических стендов и систем технического контроля вакуумного оборудования.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -20
- Катод
- Вольфрам
- Максимальная длина кабеля, м
- 100
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- Нержавеющая сталь
- Допустимое давление (абс.), бар
- ≤5
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- +10 — +50
- Полное сопротивление нагрузки, кОм
- >10
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Повторяемость (N2)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерений, мбар (Торр)
- 5х10^-5 — 1000 (3.8х10^-5 — 750)
- Максимальное давление (абс.), бар
- 10
- Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C
- ≤250
- Энергопотребление без интерфейса, Вт
- ≤2.5
- Энергопотребление Device Net, Вт
- ≤3
- Энергопотребление Profibus DP, Вт
- ≤3
- Реле контурных точек
- 2
- Диапазон (N2), мбар
- 5x10^-5 — 1000
- Контакт реле
- Замыкающий, сухой контакт
- Гистерезис, % от порогового значения
- 10
- Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А
- ≤30/≤0.3
- Номинальная нагрузка механических реле В/А
- ≤30/≤1
- Максимальное время переключения, мс
- 30
- Макс. длина кабеля при работе с RS232C, м
- 30
- Цифровой интерфейс
- RS232C
- Максимальная длина кабеля, фут
- 330
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 15
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 30
- Минимальная масса без интерфейса, г
- 230
- Максимальная масса без интерфейса, г
- 250
- Минимальная масса с интерфейсом, г
- 115
- Максимальная масса с интерфейсом, г
- 130
- Длина кабеля при работе с RS232C, фут
- 100
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 65