- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S — компактное средство измерения для постоянного контроля давления в области среднего вакуума. Модель PSG502-S устанавливается в вакуумные системы для наблюдения за процессом откачки, подтверждения достижения рабочего давления, контроля состояния камеры и передачи измерительного сигнала в автоматику технологического оборудования.
Как выполняется измерение
INFICON PSG502-S использует теплопроводностный принцип Пирани. Нагретый сенсор обменивается теплом с окружающей газовой средой, а интенсивность теплоотдачи определяется количеством молекул газа. Когда давление изменяется, меняется теплопроводность среды; электронный блок фиксирует это изменение и рассчитывает соответствующее значение давления. Метод обеспечивает непрерывный мониторинг и хорошо подходит для среднего вакуума.
Особенности конструкции
Основой измерительной системы служит чувствительный элемент из нержавеющей стали. Он отличается механической прочностью, стабильностью и приспособленностью к условиям промышленной эксплуатации. Компактное исполнение PSG502-S позволяет встроить прибор в установку при дефиците свободного места и разместить его непосредственно на камере, вакуумном трубопроводе либо коллекторе.
Преимущества модели
- непрерывное получение данных о давлении в среднем вакууме;
- небольшие габариты и удобство встраивания в оборудование;
- долговечный чувствительный элемент из нержавеющей стали;
- выбор электрических разъемов и вакуумных присоединений;
- контроль стадий форвакуумной и предварительной откачки;
- возможность работы в составе автоматизированных систем;
- применение в стационарных установках и переносных сервисных комплексах.
Практические задачи
С помощью INFICON PSG502-S можно отслеживать работу вакуумных насосов, анализировать темп падения давления, определять момент перехода к следующей стадии процесса и выявлять нарушения нормального режима. Сигнал вакуумметра может служить исходным параметром для управления насосами, клапанами и технологическими последовательностями без постоянного участия оператора.
Применение
PSG502-S используется в полупроводниковом и научно-исследовательском оборудовании, вакуумных печах, металлургических установках и комплексах промышленного вакуумного напыления. Модель востребована в холодильной и автомобильной отраслях, а также на испытательных стендах и в системах диагностики, обслуживания и контроля вакуумного оборудования.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Катод
- Никель
- Время отклика, мс
- 80
- Принцип измерения
- По принципу теплопроводности Пирани
- Электрическое подключение
- Электронный соединитель FCC 68 / RJ45, 8 конт., вилка
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- NiFe. DIN 1.4301/1.4305/1.4435
- Допустимое давление (абс.), бар
- 10, ограничение для инертных газов
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическое соотношение 1.286
- Выходное полное сопротивление, Ом
- 2х4.7
- Идентификация датчика, кОм
- 27.0, по отношению к общему выходу источника питания
- Кабель датчика
- Экранированный 8-жильный
- Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м
- 100
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Максимальное время переключения, мс
- 20
- Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар
- 5х10^-4 — 1000
- Повторяемость (воздух)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерения выходного сигнала, В
- +1.9 — +10.0
- Сигнал ошибки выходного сигнала, В
- 0 — +0.5 (разрушение катода)
- Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм
- 10, защита от коротких замыканий
- Настройка
- 1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума
- Контрольные точки
- 2
- Диапазон настройки
- 2х10^-3 — 500
- Контакт реле, В/А
- 30/0.5 плавающий
- Потребляемый ток, мА
- <500 (максимальный ток при включении)
- Пульсация, В (p-p)
- ≤1
- Ориентации на монтаже
- Любая
- Гистерезис
- На 10% выше нижнего порога
- Максимальное напряжение выходного сигнала, В
- 10.3
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 14
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная потребляемая мощность, Вт
- 1
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 60