- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG552
Вакуумметр Пирани INFICON PSG552
Вакуумметр Пирани INFICON PSG552 — компактный датчик для постоянного измерения давления в диапазоне среднего вакуума. Модель PSG552 позволяет наблюдать за изменением давления при откачке, контролировать рабочее состояние вакуумной камеры и передавать измерительный сигнал в систему автоматики. Прибор подходит для установки в качестве базового элемента контроля вакуумного процесса.
Технология измерения
Работа INFICON PSG552 построена на принципе Пирани. Нагретый чувствительный элемент отдает тепло газу, окружающему сенсор. Поскольку количество молекул зависит от давления, вместе с ним изменяется и теплопроводность среды. Электронный модуль измеряет соответствующее изменение теплоотдачи и формирует значение давления. Метод обеспечивает непрерывный контроль и эффективен на стадиях формирования среднего вакуума.
Особенности исполнения
В конструкции PSG552 применяется сенсор из нержавеющей стали. Он сочетает прочность, устойчивость и стабильные характеристики, необходимые для промышленной эксплуатации. Небольшие размеры корпуса облегчают интеграцию вакуумметра в готовое или специализированное оборудование. Прибор можно разместить на камере, вакуумной магистрали или измерительном коллекторе, не занимая значительного пространства.
Ключевые достоинства
- непрерывное отслеживание давления среднего вакуума;
- компактность и удобство монтажа;
- чувствительный элемент из прочной нержавеющей стали;
- различные исполнения электрических и вакуумных присоединений;
- контроль предварительного этапа откачки;
- возможность использования сигнала в автоматизированных системах;
- пригодность для стационарных установок и сервисного оборудования.
Назначение в системе
INFICON PSG552 помогает контролировать функционирование вакуумных насосов, наблюдать скорость уменьшения давления и определять, когда камера готова к следующей операции. Анализ показаний позволяет обнаруживать отклонения от нормального режима. Данные вакуумметра могут применяться для автоматического управления насосами, клапанами и последовательностью технологических действий.
Области применения
PSG552 устанавливают в полупроводниковое и научно-исследовательское оборудование, вакуумные печи, металлургические комплексы и системы промышленного напыления. Модель также подходит для холодильной и автомобильной промышленности, испытательных установок, диагностических стендов и оборудования, используемого при обслуживании и контроле вакуумных систем.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -20
- Катод
- Никель
- Максимальная длина кабеля, м
- 100
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- Нержавеющая сталь
- Допустимое давление (абс.), бар
- ≤5
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- +10 — +50
- Полное сопротивление нагрузки, кОм
- >10
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Повторяемость (N2)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерений, мбар (Торр)
- 5х10^-5 — 1000 (3.8х10^-5 — 750)
- Максимальное давление (абс.), бар
- 10
- Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C
- ≤250
- Энергопотребление без интерфейса, Вт
- ≤2.5
- Энергопотребление Device Net, Вт
- ≤3
- Энергопотребление Profibus DP, Вт
- ≤3
- Реле контурных точек
- 2
- Диапазон (N2), мбар
- 5x10^-5 — 1000
- Контакт реле
- Замыкающий, сухой контакт
- Гистерезис, % от порогового значения
- 10
- Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А
- ≤30/≤0.3
- Номинальная нагрузка механических реле В/А
- ≤30/≤1
- Максимальное время переключения, мс
- 30
- Макс. длина кабеля при работе с RS232C, м
- 30
- Цифровой интерфейс
- RS232C
- Максимальная длина кабеля, фут
- 330
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 15
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 30
- Минимальная масса без интерфейса, г
- 230
- Максимальная масса без интерфейса, г
- 250
- Минимальная масса с интерфейсом, г
- 115
- Максимальная масса с интерфейсом, г
- 130
- Длина кабеля при работе с RS232C, фут
- 100
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 65