- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG554
Вакуумметр Пирани INFICON PSG554
Вакуумметр Пирани INFICON PSG554 предназначен для непрерывного наблюдения за давлением в области среднего вакуума. Модель PSG554 можно использовать как измерительный элемент вакуумной установки для контроля процесса откачки, определения момента выхода на рабочее давление, оценки состояния камеры и передачи сигнала в систему управления технологическим оборудованием.
Принцип действия
Измерительная система INFICON PSG554 работает по теплопроводностному принципу Пирани. Нагретый сенсор отдает тепло окружающему газу, а величина теплообмена зависит от количества молекул. При изменении давления теплопроводность среды также меняется. Электроника обрабатывает сигнал чувствительного элемента и преобразует его в текущее значение давления, позволяя непрерывно отслеживать вакуумирование.
Конструкция прибора
PSG554 оснащен чувствительным элементом из нержавеющей стали. Прочный материал способствует стабильной работе датчика и позволяет применять его в промышленном вакуумном оборудовании. Компактные габариты упрощают монтаж в ограниченном пространстве. Вакуумметр может быть установлен непосредственно на камере, технологическом трубопроводе или измерительном коллекторе.
Преимущества модели
- постоянное измерение давления в диапазоне среднего вакуума;
- компактная конструкция для интеграции в различные типы оборудования;
- надежный сенсор из нержавеющей стали;
- выбор электрических подключений и присоединений к вакуумной системе;
- возможность контролировать предварительную откачку;
- включение измерительного сигнала в контур автоматизации;
- эксплуатация в стационарных системах и сервисных измерительных комплексах.
Практические функции
С помощью INFICON PSG554 контролируют включение вакуумных насосов и динамику снижения давления, подтверждают готовность камеры к следующему этапу и выявляют отклонения от нормального режима. Показания прибора могут использоваться оператором для визуального контроля либо автоматикой для переключения клапанов, управления насосами и запуска технологических операций.
Области применения
Модель PSG554 используется в полупроводниковом оборудовании, научных установках, вакуумных печах, металлургических процессах и системах промышленного вакуумного напыления. Вакуумметр применим в холодильной и автомобильной промышленности, на испытательных стендах, в диагностическом оборудовании и комплексах контроля вакуумных систем.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -20
- Катод
- Керамическое покрытие
- Максимальная длина кабеля, м
- 100
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- Нержавеющая сталь
- Допустимое давление (абс.), бар
- ≤5
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- +10 — +50
- Полное сопротивление нагрузки, кОм
- >10
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Повторяемость (N2)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерений, мбар (Торр)
- 5х10^-5 — 1000 (3.8х10^-5 — 750)
- Максимальное давление (абс.), бар
- 10
- Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C
- ≤250
- Энергопотребление без интерфейса, Вт
- ≤2.5
- Энергопотребление Device Net, Вт
- ≤3
- Энергопотребление Profibus DP, Вт
- ≤3
- Реле контурных точек
- 2
- Диапазон (N2), мбар
- 5x10^-5 — 1000
- Контакт реле
- Замыкающий, сухой контакт
- Гистерезис, % от порогового значения
- 10
- Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А
- ≤30/≤0.3
- Номинальная нагрузка механических реле В/А
- ≤30/≤1
- Максимальное время переключения, мс
- 30
- Макс. длина кабеля при работе с RS232C, м
- 30
- Цифровой интерфейс
- RS232C
- Максимальная длина кабеля, фут
- 330
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 15
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В/А
- 30
- Минимальная масса без интерфейса, г
- 230
- Максимальная масса без интерфейса, г
- 250
- Минимальная масса с интерфейсом, г
- 115
- Максимальная масса с интерфейсом, г
- 130
- Длина кабеля при работе с RS232C, фут
- 100
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 65