Приходите на мероприятия в сентябре: Термообработка (16-18.09), EFRE (14-18.09), Вакуумная наука и техника (15-18.09), Агропродмаш (28.09-01.10)
product-card
Вакуумный насос EBARA ESR500WN
Вакуумный насос EBARA ESR500WN
Описание
Характеристики
Графики и чертежи
Проекты
Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR500WN — высокопроизводительный сухой безмасляный насос серии ESR для технологических процессов с высокой газовой нагрузкой и возможным присутствием коррозионно-активных компонентов. Скорость откачки составляет около 2760 м³/ч, предельное остаточное давление — 0,2 Па, или 2×10−3 мбар. Модель сочетает большой поток откачки с низкой мощностью на предельном вакууме.

ESR500WN использует роторную конструкцию EBARA и idling-функцию для снижения энергопотребления. Рабочая камера безмасляная. Для агрессивных процессов доступны коррозионностойкие материалы, а водяное охлаждение и азотная продувка обеспечивают необходимую инфраструктуру для длительной работы под процессной нагрузкой.

Технические характеристики

  • скорость откачки — около 2760 м³/ч;
  • предельное остаточное давление — 0,2 Па / 2×10−3 мбар;
  • мощность при предельном давлении — 3,1 кВт;
  • расход охлаждающей воды — 3,5–8 л/мин;
  • поток продувки N₂ — 19–22 Па·м³/с;
  • вход/выход — ISO160/NW40;
  • габариты — 1092 × 460 × 925 мм;
  • масса — 500 кг.

Особенности эксплуатации

Высокая производительность позволяет применять ESR500WN в крупных камерах и производственных линиях. Безмасляная откачка снижает риск загрязнения продукта, а коррозионностойкие исполнения предназначены для процессов, в которых стандартные материалы быстро деградируют. Серия сохраняет одинаковую откачную производительность при 50 и 60 Гц.

Применение

Модель подходит для PVD, травления, озоления, распыления, CVD, ионной имплантации и других полупроводниковых процессов, а также для общепромышленных вакуумных установок с высокой газовой нагрузкой. ESR500WN выбирают, когда требуется максимальная производительность линейки ESR при сохранении энергосберегающей и химически стойкой концепции серии.

Тип
Винтовые
Уровень вакуума
Высокий
Тип смазки
Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч
2800
Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
2 × 10⁻³
Мощность, кВт
3.1
Количество ступеней
Многоступенчатый
Охлаждение
Водяное
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
1092×460×925
Масса, кг
500
Минимальная температура окружающей среды, °С
5
Расход рабочей жидкости, л/мин
3.5
Максимальная температура окружающей среды, °C
40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

 

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Аватар пользователя
Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Аватар пользователя
Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Аватар пользователя
Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Аватар пользователя
Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Вакуумный насос EBARA ESR20N
Вакуумный насос EBARA ESR20N
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 120
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
  • Мощность, кВт: 0.7
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR30N
Вакуумный насос EBARA ESR30N
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6,7 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1.7
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR80WN
Вакуумный насос EBARA ESR80WN
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 510
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR200WN
Вакуумный насос EBARA ESR200WN
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR100WN
Вакуумный насос EBARA ESR100WN
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 600
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR300WN
Вакуумный насос EBARA ESR300WN
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 1800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 2.9
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT
Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1.9
В корзину
1

Не забудьте купить

Струбцина двойная King Lai ISOK-DC-63100M-AL
Струбцина двойная King Lai ISOK-DC-63100M-AL
  • Производитель: King Lai
  • Серия: DC
  • Страна: Китай
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 1100 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 1100 F
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 6300
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ALMA
  • Длина, мм: 3100
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для систем ионной имплантации)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для систем ионной имплантации)
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 12960
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-25.4-AL 5 МГц Сплав 25,4 мм
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-25.4-AL 5 МГц Сплав 25,4 мм
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-6
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC50-32-125-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC50-32-125-112/4
  • Мощность, кВт: 0.55
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: LAGUNA EC
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 895 × 360 × 457
В корзину
1
Вакуумная печь для пайки ERSTVAK VHTBV-0202
Вакуумная печь для пайки ERSTVAK VHTBV-0202
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VHTBV
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-BAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-BAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 9.612
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Клапан пневматический прямоточный KF50 King Lai PIV-HV-KF-50
Клапан пневматический прямоточный KF50 King Lai PIV-HV-KF-50
  • Производитель: King Lai
  • Серия: PIV
  • Страна: Китай
В корзину
1
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF12A-SM
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF12A-SM
  • Масса, кг: 65
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-DF
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 580 × 500 × 730
В корзину
1
Системы управления испытаниями на удар DynaTronic VENZO640
Системы управления испытаниями на удар DynaTronic VENZO640
  • Масса, кг: 2.6
  • Производитель: DynaTronic
  • Серия: VENZO 600
  • Длина, мм: 290
  • Страна: Китай
  • Высота, мм: 60
В корзину
1

Вы смотрели

Сварной керамический изолятор Kurt J. Lesker CFT35V1251
Сварной керамический изолятор Kurt J. Lesker CFT35V1251
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: CFT-V
  • Страна: США
В корзину
1
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX200-C070
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX200-C070
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 9000
  • Избыточное давление, мбар: 900
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 147
  • Уровень шума, дБ(А): 75
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!