Вакуумный насос EBARA ESR500WN

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Высокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 2800
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.002
Мощность, кВт 3.1
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Водяное
Масса, кг 500

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR500WN — высокопроизводительный сухой безмасляный насос серии ESR для технологических процессов с высокой газовой нагрузкой и возможным присутствием коррозионно-активных компонентов. Скорость откачки составляет около 2760 м³/ч, предельное остаточное давление — 0,2 Па, или 2×10⁻³ мбар. Модель сочетает большой поток откачки с низкой мощностью на предельном вакууме.

ESR500WN использует роторную конструкцию EBARA и idling-функцию для снижения энергопотребления. Рабочая камера безмасляная. Для агрессивных процессов доступны коррозионностойкие материалы, а водяное охлаждение и азотная продувка обеспечивают необходимую инфраструктуру для длительной работы под процессной нагрузкой.

Технические характеристики

скорость откачки — около 2760 м³/ч;
предельное остаточное давление — 0,2 Па / 2×10⁻³ мбар;
мощность при предельном давлении — 3,1 кВт;
расход охлаждающей воды — 3,5–8 л/мин;
поток продувки N₂ — 19–22 Па·м³/с;
вход/выход — ISO160/NW40;
габариты — 1092 × 460 × 925 мм;
масса — 500 кг.

Особенности эксплуатации

Высокая производительность позволяет применять ESR500WN в крупных камерах и производственных линиях. Безмасляная откачка снижает риск загрязнения продукта, а коррозионностойкие исполнения предназначены для процессов, в которых стандартные материалы быстро деградируют. Серия сохраняет одинаковую откачную производительность при 50 и 60 Гц.

Применение

Модель подходит для PVD, травления, озоления, распыления, CVD, ионной имплантации и других полупроводниковых процессов, а также для общепромышленных вакуумных установок с высокой газовой нагрузкой. ESR500WN выбирают, когда требуется максимальная производительность линейки ESR при сохранении энергосберегающей и химически стойкой концепции серии.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Высокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 2800

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002

Мощность, кВт: 3.1

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 500

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1092×460×925

Серия: ESR

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Расход рабочей жидкости, л/мин: 3.5

Максимальная температура окружающей среды, °C: 40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1302

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

282

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: