Вакуумный насос EBARA ESR100WN

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Высокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 600
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.002
Мощность, кВт 1
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Водяное
Масса, кг 180

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR100WN — сухой безмасляный насос серии ESR для технологических процессов, включая задачи с коррозионно-активной газовой средой. Производительность модели составляет 600 м³/ч. Масло в зоне откачки не используется, поэтому насос подходит для систем, где важно исключить загрязнение рабочей среды масляной смазкой.

Конструкция и эксплуатация

Серия ESR использует фирменную роторную конструкцию EBARA и функцию idling. Для линейки характерны низкое энергопотребление, компактная компоновка и ориентация на снижение текущих эксплуатационных затрат. Для работы с агрессивными газами предусмотрены коррозионностойкие исполнения. Водяное охлаждение и азотная продувка входят в эксплуатационную схему оборудования и учитываются при подключении насоса к технологической установке.

ESR100WN сохраняет одинаковую откачную производительность при сетевой частоте 50 и 60 Гц. При выборе исполнения для химически активной среды учитывают совместимость материалов насоса с составом перекачиваемого газа и условиями процесса.

Применение

ESR100WN используют в полупроводниковых и общепромышленных вакуумных системах. К типовым задачам относятся PVD-процессы, травление, озоление, распыление, CVD, ионная имплантация, SEM и работа в составе load-lock камер. Серия ориентирована на коррозионные технологические процессы, где насос становится частью производственной вакуумной установки.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Высокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 600

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002

Мощность, кВт: 1

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 180

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 780×380×705

Серия: ESR

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Расход рабочей жидкости, л/мин: 2

Максимальная температура окружающей среды, °C: 40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1301

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

281

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: