- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Вакуумный насос EBARA ESR100WN
Вакуумный насос EBARA ESR100WN
Вакуумный насос EBARA ESR100WN — сухой безмасляный насос серии ESR для технологических процессов, включая задачи с коррозионно-активной газовой средой. Производительность модели составляет 600 м³/ч. Масло в зоне откачки не используется, поэтому насос подходит для систем, где важно исключить загрязнение рабочей среды масляной смазкой.
Конструкция и эксплуатация
Серия ESR использует фирменную роторную конструкцию EBARA и функцию idling. Для линейки характерны низкое энергопотребление, компактная компоновка и ориентация на снижение текущих эксплуатационных затрат. Для работы с агрессивными газами предусмотрены коррозионностойкие исполнения. Водяное охлаждение и азотная продувка входят в эксплуатационную схему оборудования и учитываются при подключении насоса к технологической установке.
ESR100WN сохраняет одинаковую откачную производительность при сетевой частоте 50 и 60 Гц. При выборе исполнения для химически активной среды учитывают совместимость материалов насоса с составом перекачиваемого газа и условиями процесса.
Применение
ESR100WN используют в полупроводниковых и общепромышленных вакуумных системах. К типовым задачам относятся PVD-процессы, травление, озоление, распыление, CVD, ионная имплантация, SEM и работа в составе load-lock камер. Серия ориентирована на коррозионные технологические процессы, где насос становится частью производственной вакуумной установки.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 2 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 1
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 780×380×705
- Масса, кг
- 180
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: